专利名称：层叠膜专利类型：发明专利
发明人：牧寺雅巳,有村孝,山下恭弘,花冈秀典申请号：CN201880054102.8申请日：20180821公开号：CN111032339A公开日：20200417
摘要：本发明提供一种层叠膜，其具有基材、和层叠于该基材的至少一个面的薄膜层，该薄膜层含有硅原子、氧原子及碳原子，在表示该薄膜层的膜厚方向上的自薄膜层的表面起的距离、与位于该距离的点的薄膜层中所含的碳原子数相对于所含的硅原子、氧原子及碳原子的合计数而言的比率(碳原子比率)的关系的碳分布曲线中，具有至少3个极值，极大值的最大值与极大值的最小值的差为14at％以下，最大值为23at％～33at％，并且具有至少1个满足式(1)～(3)的关系的不连续区域：3at％≤a－b(1)3at％≤b－c(2)0.5＜(a－c)/dx(3)。
申请人：住友化学株式会社
地址：日本国东京都
国籍：JP
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：朱丹
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