文件修订履历 版次 V0 V1 V1.1 V1.2 V1.3 V2 V2.1 1、 V2.2 V2.3 V2.4 V2.5 V2.6 V3.0 C部门 S部 有√ √ 份1 数 ^.
1 目的
防止静电对静电敏感器件造成早期损坏或缩短使用寿命；使ESD防护工作具有较强的可操作性。 2 适用范围
从静电敏感器件进货到产品形成的全过程 3 定义
3．1静电放电（ESD）
处于不同电位的两个物体之间，由于直接接触或者电场感应导致的电荷传输。 3．2静电敏感器件（ESDS）
在常规处理、测试或运输中可能会受到静电场或者静电放电损害的分立器件、集成电路或组件。 3．3静电的发生及带电
3．3．1静电的定义：物质是由分子组成，分子是由原子组成，原子是构成一切化学元素的最小微粒， 由带正电的原子核和带负电的围绕原子核旋转的电子组成。在正常状况下，原子所带的正负电荷相等，所以对外表现出电中性。但是在某种条件下，当物质原子中的这种电平衡状态被打破，丢失或获得电子，物质即由电中性状态改变为带电状态。丢失电子，则表现为带正电；获得电子，则表现为带负电。这种物体表面所带过剩或不足的相对静止不动电荷，称之为静电。
3．3．2静电的产生：静电的产生有多种，这里主要讲述与电子制程紧密相关的接触起电、感应起电、剥离起电、摩擦起电；其它如：粉体带电、液体静电、气体带电、飞沫带电、喷出带电在此不进行讲述。 3．3．2．1接触起电：当两种物质接触时，其间距小于2.5×10cm 时在其间即发生电子的转移，界面两侧出现大小相等，符号相反的两种电荷
3．3．2．2感应起电：它是导体在外部静电场作用下，在不同部位表面感应出不同符号的电荷 3．3．2．3剥离起电：两个接触非常紧密的物质，在外力作用下突然分开，由于剥离的原因使物体带电 3．3．2．4摩擦起电：由于摩擦生热，热使离子（电子）的活性增加，容易向其他物体转移 3．3．3静电的危害
3．3．3.1对人体产生电击：带了电的人体接近接地体时，会由于静电放电产生的瞬间冲击电流流过人体某一部位而引起电击。或者是原来不带电的人体接近一个带电物体时，带电物体对人体放电而引起的电击。
3．3．3.2对电子组件的损坏：对组件的损坏大体可分为两种失效模式：一、突发性完全失效即一次性击穿、烧毁，产品在拿取、传递、作业时由于静电放电造成的产品完全破坏，永久失效；二、潜在性缓慢失效即静电放电使产品造成毫无规律可循的潜在性失效，导致其可靠性下降。
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3．4绝缘体与导体 3．4.1绝缘体
绝缘体具有大表面电阻率，一般大于或等于1011Ω。产生静电时即使接地电荷也不会泄放到大地，物体仍处于带电状态。
如：普通塑料制品、乙烯等 3．4．2导静电体
导体一般表面电阻率≥102 Ω和＜105Ω范围，电荷具有良好的流动性，进行接地电荷会大量流向大地，造成大电流而损坏电子元器件或击伤人体。 3．5防静电材料定义
3.5.1根据防静电材料的导电性能，可分为静电绝缘、耗散、导电、屏蔽四种。
静电绝缘材料：表面电阻率≥1011Ω；
静电耗散材料：表面电阻率≥105Ω和＜1011Ω； 静电导电材料：表面电阻率≥102Ω和＜105Ω； 静电屏蔽材料：表面电阻率＜102Ω； 3.5.2 ESD防护项目的表面电阻的要求
工作表面、存放架、电动车、手推车、周转箱、物料盒、周转架、地板、服装、鞋子、椅子等表面电阻为104
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1010Ω；
包装材料（如：胶袋、胶带、胶纸、包装纸、吸塑品等）的表面电阻为：105≤R＜1011Ω。 3．6静电发生源
3．6．1 人：人是最大的静电发生源。人在作业过程中的任何操作都可能使人的皮肤、头发、衣服等带上静电。
3．6．2 环境：地板、工作台面、仪器设备等都是静电发生源。
3．6．3 材料：生产中的一些原材料、生产辅助材料、包装材料等也可能是静电发生源。
表1 常见物体的静电发生序列
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＋
序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 材料 空气 人手 兔毛 玻璃 云母 头发 尼龙 羊毛 丝绸 铝 纸 序号 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 材料 棉布 钢 木材 琥珀 硬橡胶 镍、铜 黄铜、银 聚脂人造纤维 聚乙烯 聚丙烯 聚氯乙烯 －
3．7漏电
测试工具如电批、电视机、功放、示波器；由于使用220V电进行供电，会产生对地的漏电；漏电电压较低，不会超出供电电压；不会像静电那样具有几千伏的电压；但漏电电流较强，进行可靠设备接地后要求漏电电压AC小于1V。 3．8电子元器件的静电耐压
表2 一些器件类型的静电敏感电压值 器件类型 VMOS MOSSEFT PROM GaAsFET CMOS HMOS E/DMOS ECL 4 职责
4.1 工程部确定静电防护控制点、区域和控制要求；
4.2 电子仓负责静电敏感器件出库前的静电防护,IQA部负责静电敏感器件检验时的静电防护,生产车间
负责生产过程中的静电防护；非生产物料仓库管理员负责对修理位和烧录IC位等使用工具，如镊子、烧录笔，防静电支架，防静电衣帽，防静电手套，指套等来料进行ESD抽检，静电衣帽每次抽检5%，静电手套/指套每次抽检1%，工具、支架等每次抽检10%，抽检结果记录在《防静电物料验收记录表》中。
4.3 工程部动力设备室负责对接地主干线的检测和维护,防静电地板表面电阻，防静电地板接地电阻的
检测，每半年一次检测；各部门负责本部门静电地线与设备地线的检验和维护；
4.4工厂各车间日常点检、周点检工作由生产车间指定人员 (一般由各生产线多能工或车间ESD专员)
耐静电放电电压（V） 30-1800 100-200 100 100-300 250-2000 50-500 200-1000 300-2500 器件类型 运算放电器 JEFT STTL SCL DTL 肖特基二极管 双极型晶体管 石英压电晶体器件 耐静电放电电压（V） 190-2500 140-1000 300-2500 680-1000 380-7000 300-3000 380-7000 <10000 ^.
进行，生产线月点检由各车间/部门ESD专员在每月中旬进行，记录在《生产线ESD月点检表》中，车间主任/部门长审核确认，工程部、部品部、IQC、PMC仓库ESD专员由各车间主任/部门长指定； 4.5 IQA部负责制造中心ESD防护措施的抽检抽查；
4.5.1对于一级EPA区域，需要定期的进行周度稽查、月度稽查、季度稽查、年度稽查；对于二级EPA区域，需要定期的进行月度稽查、季度稽查、年度稽查。检查与测量采用合适的仪器和方法、同时记录予以保存（记录保存时间：1年），使之与ISO9000的要求相符合。 4.6 静电防护的控制点和区域
电子仓库（包含IC房）、工程部分析室、IQA首件检验房、机芯生产车间、C/SKD车间、IQC机芯检验房、IQC部品检验房、SMT/PCB车间、总装车间与静电敏感器件相关的工位及修理工位； 4.7 工程部动力设备室负责对静电手环、电烙铁、电批等工、治具进行发放、管理、维修； 4．8 防静电手环、防静电鞋、防静电衣帽、防静电手套；
4．8.1 由各生产线指定专人每天进行点检和目视；同时将每个测试结果记录在《静电手环点检表》，《静电鞋点检表》等日常点检相关表格及《目视检查表》中；
4．8.2对点检中发现的不良静电手环要求立即进行更换；同时记录在《ESD测试NG处理记录表》中； 4．8.3对点检中个别员工皮肤干臊引起接触电阻高使测试不通过的，可在作业员与静电手环金属片接触的皮肤处涂抹润肤保湿霜，2小时涂一次； 4．9电批、螺丝机、电烙铁
由各生产线指定专人每天进行点检；同时将每个测试结果记录在《工具、仪器设备点检表》中； 4．10防静电衣帽、手套、鞋，防静电胶皮，防静电周转箱
由各生产线指定专人每周进行点检；其中防静电衣帽、手套要求在不穿着时测试表面电阻，穿着时测试表面电压，同时将每个测试结果记录在相应周点检表中； 4．11仪器、设备、机架、治具、工具、周转车，包装袋
由各生产线指定专人每月进行点检；同时将每个测试结果记录在《生产线ESD月点检表》中； 4．12相对湿度
由各车间或部门指定专门的人员点检，同时将每个测试结果记录在《温度及湿度点检记录表》中； 4. 13 SMT/PCB车间ESD地板
由工程部设备室进行点检，并同时将点检的结果记录在《ESD地板点检表》里。 4．14 《目视检查表》由生产线指定专员每班完成并做好相应记录；
4．15 以上测试过程中，如发现不良，需要更换或修理的静电损耗品，如静电手环、防静电衣帽，周转
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车/箱，输送板/带，各类仪器等，需要记录在《ESD测试NG处理记录》中，ESD月度审查作为其中一项进行监控。 4.16 ESD培训
所有操作或有可能接触ESD敏感器件、组件或产品的人员ESD敏感器件都必须进行ESD培训。同时为确认防静电培训的效果，参加ESD培训的员工需要通过防静电知识的考核,为了促进员工防静电知识的不断提升，需要对参加培训的员工进行培训、考核过程。
由于产品静电防护涉及的部门很多，人员的级别也相差很大，培训的对象有管理层、操作层，因此，为了保证培训效果应分层次确定培训目标并制定相应培训教材。
培训计划应确定静电防护培训类型和频率、方法和具体技巧，培训计划还应包括用于检查学员理解及培训是否合适的检查方法。员工培训记录要求保留至少一年，并规定这些记录存放何处。为了保证培训效果，培训与认证应分为：初级培训和考核、周期性培训和考核、提高培训和考核、特殊培训和考核。 操作层培训和考核：由车间静电管理员每半年对所有在线作业进行一次静电培训和考核。 管理层培训和考核：由公司静电管理人员每半年对所有在线作业进行一次静电培训和考核。 提高培训和认证：由于工种变化或者转到新的部门，如从非EPA转移到EPA，从低等级EPA转
移到高等级EPA（如从二级EPA转移到一级EPA）等，需要适应新环境ESD控制要求进行提高培训与认证。 特殊培训和认证：由于企业要对静电防护体系进行日常维护，需要每一个部门（或EPA区域）
确定一名ESD负责人（或由接口人执行），各个部门需要对ESD责任人或稽查人员提供特殊培训与认证，或由公司ESD主管部门对所有ESD责任人员、稽查人员提供特殊培训与认证。 5 工作流程
（静电防护流程目录）
5.1 人员防静电标准⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ ⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯7 5.2 修理台、组件加工台、生产作业台面防静电标准⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯7 5.3 周转箱、物料盒防静电标准⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯8 5.4 周转车防静电标准⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯9 5.5 防静电袋、防静电胶纸防静电标准⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯9 5.6 工具、治具、机架防静电标准⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯9 5.7 温湿度标准⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 9 5.8 防尘膜作业标准⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯9 5.9 静电地接地规则⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯10 5.10 设备地接地规则⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯10 5.11 防静电材料编码规则⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯11 5.12 工厂防静电措施检测方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯11 5.13 静电检测主要仪器使用说明⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯14 5.14 防静电管理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯15
5.1人员防静电标准
5．1．1对于可接触到静电敏感元器件或有机会接触到静电敏感元器件的作业员需配戴防静电手环、坐式作业须坐防静电椅；
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5．1．2 SMT、PCB车间员工需配戴防静电手环、穿防静电衣、戴防静电帽、穿防静电鞋；
5．1．3机芯装配、总装盖上盖前所有岗位（包含盖上盖工序）、机芯加工投入位、总装修理位员工需配戴防静电手环、穿防静电衣、戴防静电帽。总装从机芯投入到打上盖前的所有作业员必须戴防静电袖套（穿短袖工衣时可以不用戴，长袖工衣必须戴）；
5．1．4 C/SKD、仓库、IQC、工程分析人员接触静电敏感元器件时（如：直接接触IC、MOS元件、加工好的PCBA、机芯等）需配戴防静电手环，当没有静电地线时应戴防静电手套进行作业，但是不能长时间接触静电敏感器件； 5．1．5带静电手环注意事项
5．1．5．1员工在作业前必须先测试所佩带的防静电腕带是合格的,方可开始作业； 5．1．5．2作业时, 防静电腕带戴在不影响作业的一只手上；
5．1．5．3 一定要使防静电腕带紧贴到手腕皮肤；不能戴在手套、衣袖上 5．1．5．4不能使防静电腕带拉长超过弹性限度,防止将内部导线拉断；
5．1．5．5 当防静电腕带因汗、灰等变脏时会影响接触效果,要清洁金属接触部位；
防静电椅
防静电帽 防静电衣 防静电鞋
防静电手环 防静电手套 5．2 修理台、组件加工台、生产作业台面（如面壳组件加工台、SMT炉后检查台、PCB测试台、炉后分板台、皮带线拉体加工台）防静电标准 5.2.1 根据/设备接地标准
设备/工具名称 接地要求 接地电阻 对地漏电电压 接地作用 防止漏电损伤电电批 外壳直接接设备地 ＜4Ω Vac＜1V ^. 电烙铁 外壳直接接设备地或设备地之间接150 KΩ±10% 的电阻进行限流 电源插座接地孔应接设备地 ＜4Ω Vac＜1V 特殊岗位要求：开机芯保护点的漏点电压需控制在Vac＜0.3V / 子元器件 电源插座 功放、电视、示波器、信号发生器、带灯放大镜 ＜4Ω 外壳直接接设备地 ＜4Ω 屏要用防静电屏保覆盖,且接设备地，＜4Ω 接设备地的位置选在电视的右下角 Vac＜1V CRT显示器、示波器 Vac＜1V 电视机接地图： 5．2．2台面要求铺设静电胶皮 台面材质 静电要求 需在台面上铺设绝缘胶皮或其它绝缘层 接地标准 1.防静电胶皮铺在绝缘胶皮或其它绝缘层上，每2米需接接地线扣（内含1MΩ电阻）1个，与防静电地线连接，或可通过接地铜片直接接防静电地线 2.金属台面需注意防静电胶皮接地扣不能与台面短路。（即造成设备地与静电地短路）； 接地线与电视连接位置（左/右下角） 作业台面金属材料 作业作业木质材料 修理台金属架
防静电胶皮直每2米需接接地线扣（内含1MΩ电阻）1个，与防静电地线连接铺在台面上 接，或可通过接地铜片直接接防静电地线； 接设备地 接地电阻＜4Ω。需注意防静电胶皮接地扣不能与台面短路。（即造成设备地与静电地短路） 5．3周转箱、物料盒防静电标准 静电耗材 表面电阻 表面电压 作用 备注 ^. 防静电周转箱 10~10Ω ＜150V 410防静电物料盒 10~10Ω ＜150V 410用于PCBA、半导体电子元器件、机芯周转的周转箱要求使用防静电周转箱或使用中性的纸箱进行周转，检测到不良马上进行更换并记录到《ESD测试NG处理记录》中； 防静电物料盒、金属物料盒不能用锡箔纸包，一般的不防静电的物料盒且离静电敏感器件距离较近（如机芯固定位装螺丝的物料盒；修理位的不防静电的物料盒）的应用锡箔纸包，用锡箔纸包了的物料盒不能用来装静电敏感器件（如IC等）。 5．4周转车防静电标准
静电耗材 防静电周转车 表面电阻 表面电压 作用 用于PCBA、机芯周转的周转车要求使用防静电材料制作的周围车进行周转，；接地铁链的按《目视检查表》要求进行确认 备注 防静电周转车点检统一由SMT车间完成，车子必须有铁链接地，铁链不能生锈、或者悬空 10~10Ω ＜150V 4105．5防静电袋、防静电胶纸防静电标准
半导体元器件供应商供货要求使用防静电材料(一般使用防静电的聚乙烯)包装；防静电袋的使用寿命和防静电效果会随时间而消失,原则上为一次性使用。对重复使用的防静电袋要求在使用前进行防静电测试，合格后才能投入使用。测试标准表面电阻要求在105≤R＜1011Ω；
5．6工具、治具、机架防静电标准
5．6．1 通常情况要求测试机架使用防静电材料进行制作，表面电阻要求在104~1010Ω，镊子、烧录笔等工具必须使用木质材料或防静电材料，不能使用金属材料；
5．6．2 如果使用一般不防静电材料（如有机玻璃）制作，必须采取防静电措施，如需在测试机架上加防静电胶皮或包锡箔纸并实施接地；或者喷防静电液使其表面电阻达到104~1010Ω。 5.6.3 要求静电敏感器工装和夹具等要求加强接地，接地电阻应小于4欧姆。
5．7相对湿度，温度标准：1级标准 20-28℃ 相对湿度(RH)：45%~75%，适用于PCB/SMT/机芯车间，2级标准10-28℃ 相对湿度(RH)：30%~75%，适用于各总装装配车间，每工作日采集2次数据，具体时
间为上、下班次各一次。控制方法参见5.14.6
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5．8防尘膜作业标准：各个电子仓库、车间在对静电敏感器件做防尘处理时，要确保防尘膜不能直接和静电敏感器件接触，需先在静电敏感器件上盖上防静电材料，然后再围防尘膜。 5．9静电地线接地规则：用于静电手环、静电席等接地
5．9．1对于台面防静电胶皮无静接地扣的，静电地线串接有150kΩ+10%电阻（规格2W以上）；对于台面防静电胶皮有静接地扣的，静电地线可以串接150kΩ+10%电阻（规格2W以上），也可以不用； 5．9．2三相插座接地：内置接地，用于三相电源插头的接地； 5．10设备接地规则：用于生产线上的仪器设备接地。
5．10．1接地位置：优先顺序由高到低依次为：设备仪器的后面、左侧、前面（设备仪器后面可以接地的都必须接在后面，后面不能接地的则可以选择左侧或者前面）
5．10．2接地线规格要求:总干线使用1.5mm的黄绿线;连接仪器设备支线使用0.5mm的黑线或AV线； 5.10.3.所有连接电源主线的设备、仪器、工具等，都必须可靠地和电源系统安全地线相连接。 5.10.4 静电敏感器件及其组件的加工设备、测试仪器、工具、装备（如测试设备仪器、SMT系列设备、波峰焊机、烘烤箱、成型系列设备、电批、电烙铁等）有可靠接地；电批、电烙铁要求加强接地，所有与静电敏感物品接触的用电设备没有出现漏电的情况。
5.10.5 EPA区的防静电接地只允许使用并联接地，而串联接地是一种不可接受的接地方式。 5．10．3接地方法：
5.10.3.1接地线在设备地线上绕接约2cm（紧密缠绕）如图所示，再采取焊接方式，直接将连接点用锡焊接起来，接点更加牢靠。
5.10.3.2 接地线可以直接使用鳄鱼夹夹在设备地线上;
5.10.3.3 鳄鱼夹的连接线必须使用焊接或工具压接方式，不可以直接缠绕在上面；
5.10.3.4 接地线连接仪器、工具的一端，须使用线耳焊接或工具压接或绑定的方式，将其固定在仪器、工具的螺丝下面；
5.10.3.5接地线连接电视的一端，使用AV线插在电视的端子上，另一端接设备地上使用鳄鱼夹或直接焊接方式，不可以缠绕；
2cm 2
2
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5.11防静电材料编码规则
5.11．1所有的防静电胶皮、防静电胶箱、接地扣、防静电椅子、防静电周转车，防静电周转架等需要进行编码管理，以便于检验记录使用； 5.11．2 编码规则
5.11．2．1编码共9-10位数代表，123-4567890如： AVA-JDK001为一车间001号接地扣 1、2位为AV厂，固定不变；3位为车间（如：一车间为A；二车间为B；三车间为C；四车间为D；五车间E；CKD车间为F；试产为G ; PDVD车间为H；仓库为K；OQA检查房为O;IQC为I；六车间为J等）；4、5、6位为部品类型（防静电胶皮为JDP，防静电胶箱为JDX，防静电椅子为JDY，接地扣为JDK，拉板为JDB等）；7、8、9、10位为部品的编号数量，从001开始累垒加。
5.11．2．2 标签使用料号为:71-AV0000-T02 尺寸为40MM*15MM的贴纸,可以打印和手写,字体要工整,清晰,不易擦除/掉色.
如图： 5.12工厂防静电措施检测方法 5．12.1防静电腕带的检测
5．12．1．1 将防静电腕带的地线夹夹住静电测试仪的鳄鱼夹上,同时将另一只不佩带防静电腕带的手
按在“PRESS HERE”上（静电TESTER上的白色按键）；戴防静电手环的手进行左右摇动2-3秒
5．12．1．2 若绿色“PASS”指示灯一直亮,则表明佩带防静电腕带良好；红色“LOW”或“HIGH”指示
灯亮,则表明所佩带防静电腕带未戴好或有故障；如红色与绿色灯交替闪烁表面防静电腕带未戴好或接触不良。
5．12．1．3 测量必须保证在上班的前半个小时完成即可（上午8：30前、下午14：00前、晚上19：
00前）
5．12．1．4 在测试中发现有故障的防静电腕带由作业员交给线长处理, 并要求立即更换，并登记在《ESD测试NG处理记录》中 5．12．2电烙铁漏电测试
在热工作状态下用万用表测量烙铁头与电源地的漏电电压和接地电阻,测量值记录在相对应的点检表里；（万用表一支表笔接设备地线，一支表笔接烙铁上锡面）
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5．12．3电批漏电测试
在工作转动状态下用万用表测量电批头或调整环金属壳与电源地的漏电电压和接地电阻；（万用表一支表笔接设备地线，一支表笔接电批头上或调整环金属壳） 5．12．4测试仪器、机架漏电测试
在工作状态下用万用表测量测试机架、测试仪器与电源地的阻抗＜4Ω,AC电压1V以下；（万用表一支表笔接设备地线，一支表笔接测试仪器外壳、测试机架输出端口地） 5．12．5 防静电胶皮、胶箱、胶袋、防静电车的检测（静电耗材） 5．12．5．1使用表面电阻测试仪测试表面电阻在104~1010Ω。
表面电阻测试仪底部与被测试物体平行接触，按住红色PUSH START键进行测试。测试时人体不许接触被测物体，测试环境选择在被测物体所处的作业现场，指示灯直接显示阻值，当指示灯不再跳动时方可读取数据。按照此方法测试被测物体表面至少2个不同位置。对于局部表面电阻不合格的视为不合格。（测试平台要选择静电耗散表面）
5．12．5．2使用表面电压测试仪表测试表面电压
直接用表面电压测试仪测量其表面电压，使用测试时对准所测试的物体，当红光的两个圆或十字架聚焦重合为最清晰状态时，读取数值；
5.12.5.3以上测试环境均选择在被测物体所处的作业环境下，相对湿度在30%-80%范围内。
5.12.5.4静电耗散型工作表面到公共接地线的接地电阻应该保持在R＜1.0×109Ω（不依赖于相对湿度） 5．12．6防静电衣、静电手套、静电鞋的检测
5．12．6．1①防静电衣、静电手套可使用表面电阻测试仪测试表面电阻在104~1010Ω。
②防静电衣、静电手套可使用表面电压测试仪表测试表面电压＜150V
5．12．6．2防静电鞋使用防静电鞋检测仪进行检测，具体检测方法参照《防静电鞋点检作业指导书》，如是“FAIL HI”红灯亮，需检查是否因为袜子绝缘导致，这时请脱除袜子后穿防静电鞋再进行测试，测试结果OK，请保持不穿袜子工作；如是其它问题，请报告生产线长处理，另一只脚（如右脚）请重复前面步骤进行测试（本测试方法适合单脚测试的检测仪器）。 5．12.7 地线的检测
5．12.7.1 防静电地线的检测：防静电地线串接有一个150kΩ+10%限流电阻，使用万用表测量该电阻导通；每年使用摇表测试一次对地接线状态，判定标准为导通即可；
5．12.7.2 设备地线的检测：每年使用摇表测试一次对地接线状态，判定标准为接地电阻小于4Ω； 5．12.7.3设备地线与防静电地线短路检测，使用万用表测量设备地线与防静电地线间电阻大于2Ω以
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上（非短路）即可，每天点检一次，并将测量值记录在相对应的点检表中；
5．12.7.4 三相电源插座接地脚的检测：使用万用表测量其接地脚与设备地线之间的电阻，判定标准为接地电阻小于4Ω； 5．12.8 ESD地板的检测
工程部负责每半年一次检测分别对ESD地板（SMT、PCB、二车间）进行表面电阻和电压的检测，表面电阻值在104~1010Ω范围内。防静电地板与接地母线之间测量的值在106~109 摩擦电压＜100，记录在《ESD地板点检表》里； 5.12.9 离子风机的检测
5.12.9．1每周定期对离子风机进行检测，在工作状态下用万用表测量离子风机的金属外壳与电源设备地的阻抗＜4Ω,AC电压1V以下；
5.12.9.2中和效果的检测，将离子风机测试仪功能开关分别拨到正极和负极，3秒内表面电压由1000V降低到100V为合格；将检测结果较大的值记录在《离子风机点检表》中，
5.12.9.3 离子平衡测量，将主机左侧功能开关打到“0”位置，将探头金属面正对着离子风机的出风口位置，距离30~50CM，当电压显示屏所显示的电压相当稳定后，此时读取数据为当前离子风机的离子平衡度；显示为正电压，为当前离子风机的离子风趋向于正离子多，如负，则为负离子多。 5.12.9.4检测到不良需马上送设备室维修或更换，并记录到《ESD测试NG处理记录》中 5.12.9.5《ESD周点检表》使用要求
防静电衣帽、手套、防静电周转箱、周围车等抽检编号半年内不能有重复；插座、测试设备、拉体、防静电胶皮、传送带、接地扣、生产设备等三个月内至少检查一次；新导入拉体，设备等需要在导入后首个周/月点检中优先对其进行确认； 5．12.10 检测结果超标措施
所有的检测值若超出标准范围，应立即采取有效的改善行动，以达到规定的要求，或立即停用、更换为正常品方可使用；行动记录可填写在备注栏内，处理流程参见5.14.9； 5.13 静电测试主要仪器使用说明
5.13．1静电手环测试仪（型号：QUICK498、SLD698）
静电手环点检规格要求800kΩ-9MΩ，使用前要先检查仪器是否正常，简易确认方法：将测试仪接地线与测试按压片短路并按下，正常应显示红灯LOW；直接按压测试按压片（测试仪接地线悬空不与任何物体接触），正常应显示红灯HIGH,
确认仪器正常后方可使用，使用时仪器接静电地线，然后开始检测，具体检测方法参照698说明书。
^.
5.13．2 表面电阻测试仪
表面电阻测试仪底部与被测试物体平行接触，按住红色PUSH START键进行测试。测试时人体不许接触被测物体,读数时要等指示灯不再跳动方可.
表面电阻测试仪（型号：SLD 699）
5.13．3 表面电压测试仪(型号:TPK375)
使用前先要清零,方法:套上仪器的配套铁片且旋紧底部接地螺丝,按POWER键开机,再按ZERO清零即可。每次使用前需要清零。
清零后方可进行测量，测量时先取下对零铁片，然后前端对准被测物体，使2个红色的圆圈重叠在一起时读取数值（其它型号操作方法参考仪器使用说明书）。
5.13．4大气离子测试仪（型号：NK-7001）
表面电压测试仪（FMX002）
打开电源开关，当屏幕显示为1000/200之间跳动时，在数字停留的同时按下探头的轻触开关，则为选择测量的档位，分别可以测量到1000V降低到100V，200V降低到20V的所需要的时间；
将探头对准离子风机约50cm的距离内，按动探头的开关，看屏幕显示所测量的中和速度的时间在标准范围内即可； 5.14 防静电的管理 5.14．1防静电的措施制定
由工程部制定、完善、解释本管理规范
5.14．2由IQA每月最后一个星期三对工厂各生产车间/部门进行抽查本规范执行情况；现场抽检结果记
^.
录在《静电月度审查表》中，审查人员次日整理并加入到《ESD月度审查问题点跟踪表》中，由各部门分别在一周内给出改善对策及进度，由IQA部跟进并确认，直至问题点关闭。 5.14. 3外来人员的静电防护措施制定
外来人员要进入静电防护区域，必须按照TCL工厂要求实施相应的静电防护措施，；对于外协厂来TCL工厂进行静电敏感器件返工、维修的作业时，应采取有效地静电防护措施（如配戴静电手环、穿戴防静电衣、帽、手套等），并且要求加入到点检记录。有必要的情况下，对于以上人员要进行专门的静电防护知识的培训；
5.14. 4拆装设备所产生的废弃纸箱、杂物引起静电的防护措施
5.14.4.1拆装设备原则上放在非静电区域进行，拆装完后再把整机移至工作区域；
5.14.4.2必须放在静电区域进行拆装的作业，所产生的废弃纸箱、杂物等应立即转移到非静电区域内，以免引起静电的产生；
5.14.4.3拆装设备的作业区域必须离静电作业区域内的产品或物品两米以外。 5.14．5临时增加的作业区域静电防护措施；
对于临时增加工位的ESD点检同样要形成记录，定期进行点检, ESD点检合格方可进行生产； 5.14. 6 EPA防护等级制定
EPA区域的划分以该区域内是否可能出现静电敏感物品为准则，只要可能出现静电敏感物品，则应定义为防静电区，否则可定义为非防静电区。防静电区域的边界范围由ESD专员与区域防静电责任人共同确定。
产品生产区域分为一级EPA区域和二级EPA区域。一级EPA区域适用于静电敏感等级大于或等于HBM50V的产品的生产；二级EPA区域适用于静电敏感等级小于HBM150V的产品的生产；产品生产区域对应的EPA等级定义及相关要求请参考下表格：
EPA控制 静电防护水平 一级EPA HBM <50V 直接接触静电敏感器件单体(如小机芯、机芯适用区域 组件、IC、MOS元件、IC房、解码板等) 或组件涉及的加工环节 温度：20~28℃ 温湿度要求 相对湿度(RH)：45%~75% EPA内应配备温湿度计，每班次上班之前作一次记录 （1）各楼层EPA入口处或不同EPA等级的转换处粘贴一级EPA区域等级警示牌 标识要求 （2）员工能正确区分EPA和非EPA，防静电区域（EPA）的外边界粘贴EPA区域地面警示标识 二级EPA HBM <150V 会接触到静电敏感器件部品，但是不直接接触静电敏感器件单体 备注 当指标超出规定的范围时，必须采取适当的措施予以改善。 温度：10~28℃ 相对湿度(RH)：30%~75% EPA内应配备温湿度计，每班次上班之前作一次记录 （1）各楼层EPA入口处或不同EPA等级的转换处粘贴二级EPA区域等级警示牌 （2）员工能正确区分EPA和非EPA，防静电区域（EPA）的外边界粘贴EPA区域地面警示标识 ^. （3）防静电设施、器材等防静电物品，以及静电敏感器件及组件等有关包装上标注有醒目的ESD标识。 （1）着装要求：穿戴防静电工衣、工鞋、工帽 （2）测试要求：所有进入EPA的人员必须通人员要求 过ESD测试方可进入 （3）操作要求：接触静电敏感产品必须佩戴防静电腕带或手套 （4）培训及认证要求：参照4.16 （1）不必要的静电源（如水杯、 静电源控制要求 塑料袋、手提包等）禁止带入EPA; （2）必要的静电源按十二英寸原则控制或进行离子化、防静电喷涂等方式处理 EPA区域所有的设备、仪器、测试环境装备、工具、人体应进行安全可靠的接地，以保证静接地要求 电敏感物品、工作人员和其它所有导体处在等电位状态，使静电敏感物品免受ESD损伤。 离子风机配置： （1）SMT线体：印刷后、贴片后、回流炉前、回流炉后、检验位 （2）组装线体：静电场大于50V的工位 （3）其它关键工位：如维修工位，软件烧录ESD硬件配置要求 工位或其它静电场大于50V的工位。 接地监控仪配置： 需要对EPA区域操作静电敏感器件的人员进行监控； 需要对EPA区域台垫进行监控； 需要对关键设备进行监控。 其它ESD硬件配置参见1.2.3 防静电包装要求 硬件设施检测要求 稽查要求 参见5.3 /5.4 /5.5要求 （3）防静电设施、器材等防静电物品，以及静电敏感器件及组件等有关包装上标注有醒目的ESD标识。 （1）着装要求：穿戴防静电工衣、工鞋或鞋套、工帽 （2）测试要求：所有进入EPA的人员必须通过ESD测试方可进入 （3）操作要求：接触静电敏感产品必须佩戴防静电腕带或手套 （4）培训及认证要求：参照4.16 （1）不必要的静电源（如水杯、 塑料袋、手提包等）禁止带入EPA; （2）必要的静电源按十二英寸原则控制或进行离子化、防静电喷涂等方式处理 EPA区域所有的设备、仪器、测试环境装备、工具、人体应进行安全可靠的接地，以保证静电敏感物品、工作人员和其它所有导体处在等电位状态，使静电敏感物品免受ESD损伤。 离子风机配置： SMT线体：印刷后、贴片后、回流炉后、检验位 组装线体：静电场大于150V的工位 其它关键工位：如维修工位，软件烧录工位或静电场大于150V的工位。 接地监控仪配置：需要对EPA区域操作静电敏感器件的人员进行监控。 其它ESD硬件配置参见1.2.3 要求使用直流自平衡离子风机 参见5.3 /5.4 /5.5要求 参见5.12要求 周度稽查、月度稽查、季度稽查、年度稽查，具体参见1.1.3 参见5.12要求 月度稽查、季度稽查、年度稽查，具体参见1.1.3
5.14.7 EPA接地/等电位相连系统标准
EPA区域内应实行接地/等电位相连接系统，以保证静电放电敏感物件、人员和所有其它导电体(如移
动设备)，处在同样的电位。实施方案可从如下表格中选择。
技术要求 实施方案 指标要求 ^.
设备接地导体 接地/等电位相连接系统 辅助接地 等电位相连接 ﹤1Ω（可接受﹤4Ω） ﹤4Ω到设备接地导体 ﹤1*109Ω
5.14. 8静电审查不符合项判断标准
Maj： 1、直接接触ESDS的人或仪器未按照静电防护要求进行防护； 2、人员无静电防护意识； 3、连续2次检查都有出现的Min；
4、无点检记录或点检记录不真实； 5、同一次审查中2个Min等于1个Maj；
Min：1、突发性较强的问题；
2、不易直接接触到ESDS的工位人员或者设备未按照静电防护要求进行防护；
3、有点检记录，但不齐全或有遗漏；无明显静电标示、未对静电防护器材进行编号管理； 4、已经有改善措施，且正在进行改善的问题点； 5.14.9 防静电问题处理流程
ESD工作实行部门主管负责制，其中部门主管为第一责任人，各部门ESD接口人或各ESD分项工作负责人为第二责任人。各类稽查问题处理应本着快速、高效的原则进行。发现问题后应按ESD问题处理流程处理解决。各区域发现的一般ESD问题由各区域责任人自行处理，重大问题或无法处理的则提交ESD专人确定，如ESD专人确定的确是ESD重大问题或无法处理的问题提交EMS厂ESD委员会及华为终端ESD项目组共同处理。
流程图如下：
005 预防措施 ESD区域负责人 ^.
006 ESD区域负责人 007 N Y 010 预防措施 ESD专员 011 是否重大ESD事故？ 报ESD委员会及华为ESD项目组 ESD专员 问题关闭 ESD委员会及华为ESD项目组 制定预防措施 ESD委员会 执行措施 008 协调处理 ESD专员
6 相关文件
处理关闭 009 ESD专员 012 013 014 结束 1.《698说明书》 2．《防静电鞋点检作业指导书》 7 相关记录
《IQC ESD周点检表》 表格编号：TCLAV-D4-5002001 《机芯ESD周点检表》 表格编号：TCLAV-D4-5002002 《仓库ESD周点检表》 表格编号： TCLAV-D4-5002003 《SMT ESD周点检表》 表格编号：TCLAV-D4-5002004 《PCB ESD周点检表》 表格编号：TCLAV-D4-5002005 《总装ESD周点检表》 表格编号：TCLAV-D4-5002006 《OQC ESD周点检表》 表格编号：TCLAV-D4-5002007 《C/SKD ESD周点检表》 表格编号： TCLAV-D4-5002008 《ESD地板点检表》 表格编号：TCLAV-D4-5002010 《——每日温湿度管理表》 表格编号：TCLAV-D4-5002012 《PDVD周点检表》 表格编号：TCLAV-D4-5002014 《生产线ESD月点检表》 表格编号：TCLAV-D4-5002015 《IQC ESD月点检表》 表格编号：TCLAV-D4-5002016
^.
《ESD目视检查表》 表格编号：TCLAV-D4-5002017 《ESD测试NG处理记录》 表格编号：TCLAV-D4-5002018
《静电鞋点检表》 表格编号：TCLAV-C4-5013017 引用《车间点检规范》 《离子风机输出点检表》 表格编号：TCLAV-C4-5013004 引用《车间点检规范》 《防静电物料验收记录表》 表格编号：TCLAV-D4-5003004 引用《非生产物料管理规定》 8 流程图
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