专利名称:氧化铪或氧化锆镀层专利类型:发明专利发明人:M·谢勒
申请号:CN200980152495.7申请日:20090324公开号:CN102264940A公开日:20111130
摘要:本发明涉及光学镀层(3,3’),所述镀层在可见光区至近紫外光区(即,直到220nm的波长)的光谱范围内具有高折射率和良好的光学特性(即,低吸收和散射)以及低的内应力。根据本发明的镀层(3,31)由含有铪或锆的氧化物HfSiO或ZrSiO组成,其硅含量(y)为1at-%至10at-%,特别地为1.5at-%至3at-%。
申请人:莱博德光学有限责任公司
地址:德国阿尔策瑙
国籍:DE
代理机构:北京泛华伟业知识产权代理有限公司
代理人:郭广迅
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