专利名称：改善声表面波滤波器膜层界面结合强度的方法专利类型：发明专利发明人：翁志坤,许欣,宋晓辉申请号：CN202011412000.4申请日：20201203公开号：CN112564661A公开日：20210326
摘要：本发明公开了改善声表面波滤波器膜层界面结合强度的方法。具体而言，本发明描述了一种用于改善声表面波滤波器膜层界面结合强度的方法，所述方法包括：在压电材料基板表面进行激光微孔化处理，以在所述压电材料基板表面形成一系列盲孔；以及在经激光微孔化处理的压电材料基板表面镀金属电极。
申请人：广东广纳芯科技有限公司
地址：510700 广东省广州市黄埔区开源大道136号D栋1004室
国籍：CN
代理机构：上海专利商标事务所有限公司
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