专利名称：一种薄膜真空计专利类型：实用新型专利
发明人：张心强,靳毅,齐英,蔺宇,陈林申请号：CN201922020250.2申请日：20191119公开号：CN210603717U公开日：20200522
摘要：本实用新型提供一种薄膜真空计，属于检测设备技术领域，包括：外壳，内部具有参考压力腔；导线，一端伸至于所述外壳的参考压力腔内，另一端伸出所述外壳；吸气剂，悬置在所述参考压力腔内；所述吸气剂内部设有电热元件，所述电热元件的两端与所述导线连接。本实用新型的薄膜真空计，吸气剂悬置在参考压力腔内，在对吸气剂进行激活加热的过程中，吸气剂不与其他部件接触，因此可避免在对吸气剂加热过程中造成的其他部件温度过高的问题；并且，在吸气剂内内置电热元件，使电热元件的热量直接作用于吸气剂，使吸气剂的加热效率更高，另外，内置在吸气剂内的电热元件还可以对吸气剂起到支撑作用。
申请人：川北真空科技(北京)有限公司,中国科学院微电子研究所
地址：102200 北京市昌平区振兴路36号5楼
国籍：CN
代理机构：北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人：秦广成
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