*CN103295926A*
(10)申请公布号(10)申请公布号 CN 103295926 A(43)申请公布日 2013.09.11
(12)发明专利申请
(21)申请号 201310214798.5(22)申请日 2013.05.31
(71)申请人中国航天科技集团公司第九研究院
第七七一研究所
地址710005 陕西省西安市太乙路189号(72)发明人吴道伟 刘永福 冯一
(74)专利代理机构西安通大专利代理有限责任
公司 61200
代理人汪人和(51)Int.Cl.
H01L 21/60(2006.01)H01L 21/56(2006.01)H01L 21/768(2006.01)
权利要求书2页 说明书5页 附图5页权利要求书2页 说明书5页 附图5页
(54)发明名称
一种基于TSV芯片的互连封装方法(57)摘要
本发明公开了一种基于TSV芯片的互连封装方法，通过硅转接板，使得多层叠层芯片的窄凸点及窄间距的互连变成大凸点及大间距的互连，实现后续安装工艺；通过芯片与芯片之间、芯片与转接板、转接板与基板之间的下填充，将多层芯片结构与基板结构固定在基板上；实现通过包封，了TSV裸芯片的密封保护，提升了器件可靠性。
CN 103295926 ACN 103295926 A
权 利 要 求 书
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1.一种基于TSV芯片的互连封装方法，其特征在于，包括以下步骤：1）将多个带通孔的TSV芯片叠层键合，得到叠层的TSV芯片；2）将叠层的多层TSV芯片与带凸点的转接板互连，得到转接板叠层结构；3）采用倒装焊技术将转接板叠层结构与基板互连，得到叠层模块；4）对芯片与芯片之间、芯片与转接板、转接板与基板之间进行下填充保护，得到下填充保护叠层结构；
5）下填充保护后对芯片进行包封。
2.如权利要求1所述的基于TSV芯片的互连封装方法，其特征在于，所述的步骤1）为：（1）在晶圆表面，采用掩蔽层将每个芯片处除需要开TSV盲孔的区域进行掩蔽，然后采用刻蚀机对TSV盲孔区域进行刻蚀，并将掩蔽层去除；掩蔽层选用光刻胶有机物，刻蚀盲孔直径为5-50μm，通孔深度为50-200μm；
（2）在晶圆表面及盲孔内部，采用物理气相沉积的方法沉积金属层，形成阻挡层/黏附层/种子层，并进行盲孔电镀；电镀完成后，采用化学机械抛光的方法将表面金属层去除；阻挡层/黏附层材料为Ti/TiN或Ta/TaN，种子层为Cu；
（3）在晶圆表面形成一层电极层，采用掩蔽层将不需要电镀焊钉区域进行掩蔽，在TSV盲孔区域进行电镀；电镀完成后，采用湿法腐蚀方法将掩蔽层及电极层去除，即形成了晶圆正面键合点；焊钉直径为5～50μm，焊钉高度为5～20μm；
（4）采用临时键合胶将晶圆与相同尺寸的载片进行临时键合，胶层厚度为20-150μm；所述的载片为玻璃载片或硅载片，临时键合胶材料为树脂、橡胶或硅胶；
（5）将带临时载片的晶圆进行背面减薄，采用刻蚀的方法将本体硅刻蚀一定厚度，将填充铜区域暴露；接着背面进行绝缘保护，采用化学机械抛光将铜层暴露出来，实现晶圆背面键合点铜层的暴露；晶圆减薄厚度为20～200μm；
（6）晶圆背面工艺完成后，将晶圆转移到崩片环上，并将临时载片去除；接着采用切割方式将晶圆切割成各个芯片；
（7）将每层芯片按顺序进行对正键合，得到叠层的TSV芯片。3.如权利要求2所述的基于TSV芯片的互连封装方法，其特征在于，所述的晶圆的厚度为20～200μm，微凸点的高度为5～20μm。
4.如权利要求1所述的基于TSV芯片的互连封装方法，其特征在于，所述的步骤2）为：（1）在转接板表面，采用掩蔽层将需要开TSV盲孔的区域进行掩蔽，采用刻蚀机将TSV盲孔区域进行刻蚀，并将掩蔽层去除；转接板采用裸晶圆，掩蔽层选用光刻胶有机物，刻蚀盲孔直径为100-200μm，通孔深度为100-300μm；
（2）在转接板表面及盲孔内部，采用物理气相沉积的方法沉积金属层，形成阻挡层/黏附层/种子层，并进行盲孔电镀；电镀完成后，采用化学机械抛光的方法将表面金属层去除；阻挡层/黏附层材料为Ti/TiN或Ta/TaN，种子层为Cu；
（3）在转接板表面形成一层电极层，采用掩蔽层将不需要电镀焊钉区域进行掩蔽，将TSV盲孔区域进行电镀；电镀完成后，采用湿法腐蚀方法将掩蔽层及电极层去除，形成了转接板正面键合点；焊钉直径为100～200μm，焊钉高度为100～200μm；
（4）将硅转接板进行背面减薄，采用刻蚀的方法将本体硅刻蚀一定厚度，将填充铜区域暴露；接着背面进行绝缘保护，采用化学机械抛光将铜层暴露出来，实现硅转接板背面键合
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权 利 要 求 书
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点铜层的暴露；晶圆减薄厚度为100～300μm；
（5）转接板背面工艺完成后，将转接板转移到崩片环上；接着采用切割方式将转接板切割成单独的各个转接板；
（6）多层叠层芯片与转接板进行对正，在加热加压状态，发生Cu-Cu扩散键合，形成转接板叠层结构。
5.如权利要求4所述的基于TSV芯片的互连封装方法，其特征在于，所述的转接板为硅转接板，直径为100～200μm；将叠层芯片小的焊接点以及窄间距变成转接板引出的大焊接点及大间距，大焊接点直径为100～200μm，间距大于100μm。
6.如权利要求1所述的基于TSV芯片的互连封装方法，其特征在于，所述的步骤3）为：采用倒装焊方式，将多层芯片与转接板形成的转接板叠层结构焊接到基板上得到叠层模块；所述基板为陶瓷基板或有机物基板群。
7.如权利要求1所述的基于TSV芯片的互连封装方法，其特征在于，所述的步骤4）为：选用液态胶，将基板叠层结构的芯片与芯片之间、芯片与基板之间进行下填充保护，起到固定作用，液态胶固化后无空洞。
8.如权利要求1所述的基于TSV芯片的互连封装方法，其特征在于，所述的步骤5）是采用气密性封装和非气密性封装进行包封；
气密性封装采用陶瓷封装或金属封装两种；非气密性封装采用塑封方式，采用自动模塑进行包封。
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说 明 书
一种基于TSV芯片的互连封装方法
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技术领域
[0001]
本发明属于芯片封装技术领域，涉及一种基于TSV芯片的互连封装方法。
背景技术
如今的半导体工业界普遍认为，三维（3D）集成技术，是可以使芯片继续沿着摩尔
定律的蓝图向前发展的重要技术之一，这一技术可以缩短互连长度，从而提高电路速度、降低功耗，并增加系统存储带宽。其中，基于硅穿孔技术（Through Silicon Via，TSV）技术的三维集成是重要组成部分。
[0003] TSV技术未成熟至量产阶段，现阶段的发展多属实验加工阶段，不易控制工序良率，导致生产成本过高。对于TSV芯片的封装，一般采用裸芯片封装技术。但是，这样会使多层芯片暴露环境中，导致器件可靠性得不到保证等问题。因此，如何在考虑生产成本及产品品质情况下，易能实现叠层后器件封装的封装，成为半导体先进封装急需努力的目标。
[0002]
发明内容
[0004] 本发明解决的问题在于提供一种基于TSV芯片的互连封装方法，提高了TSV芯片封装的可靠性。
[0005] 本发明是通过以下技术方案来实现：[0006] 一种基于TSV芯片的互连封装方法，包括以下步骤：[0007] 1）将多个带通孔的TSV芯片叠层键合，得到叠层的TSV芯片；[0008] 2）将叠层的多层TSV芯片与带凸点的转接板互连，得到转接板叠层结构；[0009] 3）采用倒装焊技术将转接板叠层结构与基板互连，得到叠层模块；[0010] 4）对芯片与芯片之间、芯片与转接板、转接板与基板之间进行下填充保护，得到下填充保护叠层结构；[0011] 5）下填充保护后对芯片进行包封。[0012] 所述的步骤1）为：[0013] （1）在晶圆表面，采用掩蔽层将每个芯片处除需要开TSV盲孔的区域进行掩蔽，然后采用刻蚀机对TSV盲孔区域进行刻蚀，并将掩蔽层去除；掩蔽层选用光刻胶有机物，刻蚀盲孔直径为5-50μm，通孔深度为50-200μm；[0014] （2）在晶圆表面及盲孔内部，采用物理气相沉积的方法沉积金属层，形成阻挡层/黏附层/种子层，并进行盲孔电镀；电镀完成后，采用化学机械抛光的方法将表面金属层去除；阻挡层/黏附层材料为Ti/TiN或Ta/TaN，种子层为Cu；[0015] （3）在晶圆表面形成一层电极层，采用掩蔽层将不需要电镀焊钉区域进行掩蔽，在TSV盲孔区域进行电镀；电镀完成后，采用湿法腐蚀方法将掩蔽层及电极层去除，即形成了晶圆正面键合点；焊钉直径为5～50μm，焊钉高度为5～20μm；
[0016] （4）采用临时键合胶将晶圆与相同尺寸的载片进行临时键合，胶层厚度为20-150μm；所述的载片为玻璃载片或硅载片，临时键合胶材料为树脂、橡胶或硅胶；
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说 明 书
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[0017] （5）将带临时载片的晶圆进行背面减薄，采用刻蚀的方法将本体硅刻蚀一定厚度，
将填充铜区域暴露；接着背面进行绝缘保护，采用化学机械抛光将铜层暴露出来，实现晶圆背面键合点铜层的暴露；晶圆减薄厚度为20～200μm；[0018] （6）晶圆背面工艺完成后，将晶圆转移到崩片环上，并将临时载片去除；接着采用切割方式将晶圆切割成各个芯片；[0019] （7）将每层芯片按顺序进行对正键合，得到叠层的TSV芯片。[0020] 所述的晶圆的厚度为20～200μm，微凸点的高度为5～20μm。[0021] 所述的步骤2）为：[0022] （1）在转接板表面，采用掩蔽层将需要开TSV盲孔的区域进行掩蔽，采用刻蚀机将TSV盲孔区域进行刻蚀，并将掩蔽层去除；转接板采用裸晶圆，掩蔽层选用光刻胶有机物，刻蚀盲孔直径为100-200μm，通孔深度为100-300μm；[0023] （2）在转接板表面及盲孔内部，采用物理气相沉积的方法沉积金属层，形成阻挡层/黏附层/种子层，并进行盲孔电镀；电镀完成后，采用化学机械抛光的方法将表面金属层去除；阻挡层/黏附层材料为Ti/TiN或Ta/TaN，种子层为Cu；[0024] （3）在转接板表面形成一层电极层，采用掩蔽层将不需要电镀焊钉区域进行掩蔽，将TSV盲孔区域进行电镀；电镀完成后，采用湿法腐蚀方法将掩蔽层及电极层去除，形成了转接板正面键合点；焊钉直径为100～200μm，焊钉高度为100～200μm；[0025] （4）将硅转接板进行背面减薄，采用刻蚀的方法将本体硅刻蚀一定厚度，将填充铜区域暴露；接着背面进行绝缘保护，采用化学机械抛光将铜层暴露出来，实现硅转接板背面键合点铜层的暴露；晶圆减薄厚度为100～300μm；[0026] （6）转接板背面工艺完成后，将转接板转移到崩片环上；接着采用切割方式将转接板切割成单独的各个转接板；[0027] （7）多层叠层芯片与转接板进行对正，在加热加压状态，发生Cu-Cu扩散键合，形成转接板叠层结构。
[0028] 所述的转接板为硅转接板，直径为100～200μm；将叠层芯片小的焊接点以及窄间距变成转接板引出的大焊接点及大间距，大焊接点直径为100～200μm，间距大于100μm。
[0029] 所述的步骤3）为：[0030] 采用倒装焊方式，将多层芯片与转接板形成的转接板叠层结构焊接到基板上得到叠层模块；所述基板为陶瓷基板或有机物基板群。[0031] 所述的步骤4）为：[0032] 选用液态胶，将基板叠层结构的芯片与芯片之间、芯片与基板之间进行下填充保护，起到固定作用，液态胶固化后无空洞。[0033] 所述的步骤5）是采用气密性封装和非气密性封装进行包封；[0034] 气密性封装采用陶瓷封装或金属封装两种；[0035] 非气密性封装采用塑封方式，采用自动模塑进行包封。[0036] 与现有技术相比，本发明具有以下有益的技术效果：[0037] 本发明提供的基于TSV芯片的互连封装方法，通过硅转接板，使得多层叠层芯片的窄凸点及窄间距的互连变成大凸点及大间距的互连，实现后续安装工艺；通过芯片与芯
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片之间、芯片与转接板、转接板与基板之间的下填充，将多层芯片结构与基板结构固定在基板上；通过包封，实现了TSV裸芯片的密封保护，提升了器件可靠性。[0038] 本发明提供的基于TSV芯片的互连封装方法，通过窄凸点及窄间距的互连变成大凸点及大间距的互连，形成多层芯片的密封包封，防止了裸芯片封装的可靠性低问题。附图说明
[0039] 图1-1～1-7为叠层的TSV芯片的制备示意图；[0040] 图2-1～2-5为转接板叠层结构的制备示意图；[0041] 图3为转接板叠层结构的结构示意图；[0042] 图4为基板叠层结构的结构示意图；
[0043] 图5为下填充保护叠层结构的结构示意图；[0044] 图6-1为包封后植球结构的结构示意图；
[0045] 图6-2为多层芯片引线键合结构的结构示意图。[0046] 其中，1为第一TSV芯片，2为第二TSV芯片，3为左微凸点，4为右微凸点，5为转接板，6为倒桩焊，7为基板，8为填充胶，9为焊球，10为管腿，11为金丝。具体实施方式
[0047] 下面结合附图详细描述本发明的具体实施例。需要说明的是，下面所讨论的具体实施例仅仅是在特定环境中的特定实施例，并非对本发明的范围限制。[0048] 一种基于TSV芯片的互连封装方法，包括以下步骤：[0049] 1）将多个带通孔的TSV芯片叠层键合，得到叠层的TSV芯片；[0050] 2）将叠层的多层TSV芯片与带凸点的转接板互连，得到转接板叠层结构；[0051] 3）采用倒装焊技术将转接板叠层结构与基板互连，得到叠层模块；[0052] 4）对芯片与芯片之间、芯片与转接板、转接板与基板之间进行下填充保护，得到下填充保护叠层结构；[0053] 5）下填充保护后对芯片进行包封。[0054] 具体的，叠层的TSV芯片的制备为：[0055] 采用掩膜板将通孔以外地方掩蔽，进行通孔刻蚀；然后在晶圆表面溅射阻挡层、种子层，进行电镀通孔，接着形成正面焊钉；最后临时键合载片，进行背面减薄露铜工艺。这样，形成了带TSV通孔的单层晶圆以便后续进行多层晶圆叠层，晶圆的厚度为20μm～200μm。
更进一步，参见图1-1～1-7，叠层的TSV芯片的制备为：
[0057] （1）在晶圆表面，采用掩蔽层将每个芯片处除需要开TSV盲孔的区域进行掩蔽，然后采用刻蚀机对TSV盲孔区域进行刻蚀，并将掩蔽层去除；掩蔽层选用光刻胶有机物，刻蚀盲孔直径为5-50μm，通孔深度为50-200μm；[0058] （2）在晶圆表面及盲孔内部，采用物理气相沉积的方法沉积金属层，形成阻挡层/黏附层/种子层，并进行盲孔电镀；电镀完成后，采用化学机械抛光的方法将表面金属层去除；阻挡层/黏附层材料为Ti/TiN或Ta/TaN，种子层为Cu；[0059] （3）在晶圆表面形成一层电极层，采用掩蔽层将不需要电镀焊钉区域进行掩蔽，在
[0056]
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TSV盲孔区域进行电镀；电镀完成后，采用湿法腐蚀方法将掩蔽层及电极层去除，即形成了晶圆正面键合点；焊钉直径为5～50μm，焊钉高度为5～20μm；
[0060] （4）采用临时键合胶将晶圆与相同尺寸的载片进行临时键合，胶层厚度为20-150μm；所述的载片为玻璃载片或硅载片，临时键合胶材料为树脂、橡胶或硅胶；[0061] （5）将带临时载片的晶圆进行背面减薄，采用刻蚀的方法将本体硅刻蚀一定厚度，将填充铜区域暴露；接着背面进行绝缘保护，采用化学机械抛光将铜层暴露出来，实现晶圆背面键合点铜层的暴露；晶圆减薄厚度为20～200μm；[0062] （6）晶圆背面工艺完成后，将晶圆转移到崩片环上，并将临时载片去除；接着采用切割方式将晶圆切割成各个芯片；[0063] （7）根据要求，将每层芯片按顺序进行对正键合，得到叠层的TSV芯片。[0064] 转接板叠层结构的制备时，叠层的一般工艺过程为，晶圆与晶圆键合、解键合。不限于两层芯片叠层，左微凸点、右微凸点直径约为5μm～50μm；左微凸点、右微凸点高度约为5μm～20μm。转接板采用上述相同的TSV工艺过程实现穿孔互连。然后将叠层芯片与转接板互连，转接板可以是硅转接板，转接板直径为100～200μm。通过这种方式，可以将叠层芯片小的焊接点以及窄间距变成大焊接点及大间距，方便后续安装。[0065] 更进一步，参见图2-1～2-5、图3，转接板叠层结构的制备为：[0066] （1）在转接板表面，采用掩蔽层将需要开TSV盲孔的区域进行掩蔽，采用刻蚀机将TSV盲孔区域进行刻蚀，并将掩蔽层去除；转接板采用裸晶圆，掩蔽层选用光刻胶有机物，刻蚀盲孔直径为100-200μm，通孔深度为100-300μm；[0067] （2）在转接板表面及盲孔内部，采用物理气相沉积的方法沉积金属层，形成阻挡层/黏附层/种子层，并进行盲孔电镀；电镀完成后，采用化学机械抛光的方法将表面金属层去除；阻挡层/黏附层材料为Ti/TiN或Ta/TaN，种子层为Cu；[0068] （3）在转接板表面形成一层电极层，采用掩蔽层将不需要电镀焊钉区域进行掩蔽，将TSV盲孔区域进行电镀；电镀完成后，采用湿法腐蚀方法将掩蔽层及电极层去除，形成了转接板正面键合点；焊钉直径为100～200μm，焊钉高度为100～200μm；[0069] （4）将硅转接板进行背面减薄，采用刻蚀的方法将本体硅刻蚀一定厚度，将填充铜区域暴露；接着背面进行绝缘保护，采用化学机械抛光将铜层暴露出来，实现硅转接板背面键合点铜层的暴露；晶圆减薄厚度为100～300μm；[0070] （5）转接板背面工艺完成后，将转接板转移到崩片环上；接着采用切割方式将转接板切割成单独的各个转接板；[0071] （6）多层叠层芯片与转接板进行对正，在加热加压状态，发生Cu-Cu扩散键合，形成转接板叠层结构。
[0072] 所述的转接板为硅转接板，直径为100～200μm；将叠层芯片小的焊接点以及窄间距变成转接板引出的大焊接点及大间距，大焊接点直径为100～200μm，间距大于100μm。
[0073] 参见图4，所述的叠层模块的制备为：[0074] 采用倒装焊方式，将多层芯片与转接板形成的转接板叠层结构通过倒桩焊6焊接到基板7上得到叠层模块；所述基板为陶瓷基板或有机物基板群。[0075] 具体的，将转接板叠层结构粘接在UV膜上，装上绷片环，将各个叠层芯片进行切
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割分离。切割分离可以采用激光切割或刀具切割。然后采用倒装焊方式焊接到基板上。[0076] 参见图5，所述的下填充保护叠层结构的制备为：[0077] 选用液态胶，将基板叠层结构的芯片与芯片之间、芯片与基板之间进行下填充保护，下填充可以选用各种液态胶8，起到固定作用。因根据芯片之间或芯片与基板间厚度选取不同的液态胶，保证胶膜固化后无空洞现象。[0078] 参见图6-1～6-2，将下填充保护叠层结构进行包封，可以选用气密性封装和非气密性封装两种。气密性封装采用陶瓷封装或金属封装两种；非气密性封装采用塑封方式，选用自动模塑进行包封。
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