专利名称：相位全息与近场光学显微镜联用制备装置及其应用
方法
专利类型：发明专利
发明人：谢向生,王自鑫,周建英,张培晴申请号：CN201110147443.X申请日：20110602公开号：CN102279556A公开日：20111214
摘要：本发明采用相位控制的光学全息制备法同近场扫描的逐点加工法进行微纳光子器件的制备技术。相位控制的全息制备法能够制备各种基本的布拉菲结构，基于单个棱台的光路设计简单紧凑，引入纯相位的空间光调制后结构和位置可调，以实现多种光子晶体周期结构制备。同时采用近场光学显微镜对相控全息所形成的光场分布进行高分辨检测与记录，实现近场探针的定位，可以对全息的周期光场分布进行选择性的缺陷加工。本发明的意义在于对光刻材料进行一次曝光，就可获得各种带功能缺陷的光子晶体结构。本发明是集成电子与计算机控制、光子检测、近场微区操控以及精密光机电系统等高新技术的综合实验技术，为微纳光子器件的设计与制备提供有效的解决方案。
申请人：中山大学
地址：510275 广东省广州市新港西路135号
国籍：CN
代理机构：广州粤高专利商标代理有限公司
代理人：禹小明
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