作者：梁凯华
作者机构：长春理工大学理学院,吉林长春130000 出版物刊名：科技创新与应用 页码：27-27页
年卷期：2017年 第11期 主题词：电流密度 刻蚀深度 影响
摘要：文章通过进行电化学阳极刻蚀InP实验研究了在电化学刻蚀过程中电流密度发生变化时对刻蚀速率的影响并分析了其原因,实验结果表明：在其他电化学参数不变的情况下,刻蚀速率与电流密度呈线性关系。
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