专利名称：一种减少硅片表面颗粒的检验箱专利类型：发明专利
发明人：刘琦,张晋会,李诺,刘园,吕莹申请号：CN201310656054.9申请日：20131205公开号：CN104701201A公开日：20150610
摘要：本发明创造提供一种减少硅片表面颗粒的检验箱，包括箱体、净化装置、支架、检验台、与检验台相配的强光灯、检验台旁设有储物台、通过固定架设置在箱体侧壁内侧的荧光灯和检测装置；净化装置和支架分置在箱体的上端和下端所述检测装置为真空吸笔。箱体外表面为不锈钢。所述箱体侧壁内侧设有挂钩。箱体内壁有静电喷涂的黑色无尘漆，黑色背景更有利于检测。支架主体为焊接的不锈钢，其底端有调平螺栓，可方便调节，保持设备稳定，不锈钢材料耐腐蚀性好。使用效果好，实用性高，检测效果好，有效防止产品被污染，安全性强。
申请人：天津中环领先材料技术有限公司
地址：300384 天津市滨海新区高新区华苑产业区(环外)海泰东路12号内
国籍：CN
代理机构：天津滨海科纬知识产权代理有限公司
代理人：孙春玲
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