专利名称：水平炉管的炉门封闭装置专利类型：实用新型专利发明人：王刚,狄宝山,徐国利申请号：CN200820152584.4申请日：20080902公开号：CN201302377Y公开日：20090902
摘要：本实用新型属于微电子装备领域，具体涉及一种水平炉管的炉门封闭装置。本实用新型所公开的水平炉管的炉门封闭装置包括：带有三个或三个以上支撑柱的炉门、与炉门上的支撑柱连接的支撑柱调节装置以及穿通于炉门的桨。通过调节支撑柱调节装置，炉管与水平炉管的端口较好地平面啮合，因此能达到较好的密封效果。同时，也保证了炉门与水平放置的桨的垂直度，避免桨和桨和桨所穿过的炉门上的方形孔之间的磨损，提高炉门封闭系统的密封效果，并提高炉门封闭系统的使用寿命。
申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张江路18号
国籍：CN
代理机构：上海智信专利代理有限公司
代理人：王洁
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