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用于抑制热吸收的光掩模基板和光掩模[发明专利]

2023-06-27 来源:好走旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:用于抑制热吸收的光掩模基板和光掩模专利类型:发明专利发明人:河泰中

申请号:CN201510058665.2申请日:20150204公开号:CN104834179A公开日:20150812

摘要:一种光掩模基板和/或光掩模,包括:透光衬底;被设置在所述透光衬底上的高反射材料层;以及被设置在所述高反射材料层上的转移图案层。所述高反射材料层以预设的反射率反射光,以透过所述透光衬底。

申请人:爱思开海力士有限公司

地址:韩国京畿道

国籍:KR

代理机构:北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙)

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