专利名称：基于氧化锌和高电子迁移率晶体管生物传感器及制
备方法
专利类型：发明专利
发明人：张跃,宋宇,雷洋,闫小琴,罗宁,刘羲申请号：CN201110199584.6申请日：20110717公开号：CN102313765A公开日：20120111
摘要：一种基于氧化锌和高电子迁移率晶体管生物传感器及制备方法，属于纳米材料应用领域。其特征是：使用分子束外延（MBE）系统来制备AlGaAs/GaAsHEMT层状结构。然后使用热蒸镀的方法来制备镍/锗金/镍/金合金电极，再在器件表面沉积二氧化硅绝缘层，即可获得
AlGaAs/GaAsHEMT。气固法用于制备T-ZnO。将T-ZnO修饰在HEMT的栅极上，并依次在T-ZnO层上滴加生物酶溶液与Nafion溶液。制备好的器件置于低温中保存一段时间，既可以用来对相对应的生物溶液进行溶液浓度探测。本发明优点是：制备出的器件可以通过在栅极修饰不同的生物酶来探测相对应的生物溶液的浓度，灵敏度高，探测极限低，探测范围广，响应速度快，结构简单，性能稳定，为以后的实际应用提供了可能。
申请人：北京科技大学
地址：100083 北京市海淀区学院路30号
国籍：CN
代理机构：北京东方汇众知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：朱元萍
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