专利名称：一种采用氢等离子体还原三氯化硼制备纳米硼粉的
装置
专利类型：实用新型专利发明人：蔡杉,蔡京,陈永智申请号：CN201821991198.4申请日：20181129公开号：CN209226594U公开日：20190809
摘要：本实用新型公开了一种采用氢等离子体还原三氯化硼制备纳米硼粉的装置，包括等离子体发生电源、等离子发生器、反应器、冷却收粉器、水吸收气固分离收粉器、氩气源、氢气源和三氯化硼气源。本实用新型采用等离子体反应工艺步骤简单，可一步制得成品；且等离子体产生的高温及大量活性粒子使得合成反应速率极高；同时气相反应体系中非产品物质均以气体溢出，制得的硼粉纯度高；而等离子体气相合成反应生成的固相产物具有空间均匀成核及气流喷射分散和冷壁骤冷沉积的特点，使制得的硼粉超细且粒度分布均匀，硼粉收率最高可达到70％以上，产品的纯度可达99％以上，其平均粒径大约在30～80nm之间。
申请人：江西瑞合特种材料有限公司
地址：330700 江西省宜春市奉新县工业园区兴业路168号
国籍：CN
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