一种高灵敏度的声表面波加速度传感器

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201510125662.6 （22）申请日 2015.03.20

（71）申请人 中国科学院声学研究所

地址 100190 北京市海淀区北四环西路21号

（10）申请公布号 CN104764902A

（43）申请公布日 2015.07.08

（72）发明人 王文;黄杨青;刘鑫璐

（74）专利代理机构 北京亿腾知识产权代理事务所

代理人 陈霁

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种高灵敏度的声表面波加速度传感器

（57）摘要

本发明涉及一种高灵敏度的加速度传感

器。该传感器包括压电基片、质量振子和基座，所述基座和质量振子上均设有凹槽，所述压电基片的固定端粘于基座上的凹槽内，所述压电基片的自由端粘于质量振子的凹槽内；所述压电基片固定端的上表面从左至右依次置有第一双端谐振器和第二双端谐振器，第一双端谐振器完全置于由基座支撑的压电基片上，第二双端谐振器的1/2区域置于由基座支撑的压电基片上，第二双

端谐振器另外的1/2区域置于悬空的压电基片上，以使第二双端谐振器中心区域置于压电基片受应力最大的位置，提高加速度传感器的灵敏度。本发明的加速度传感器1g的加速度变化对应27kHz频率差值变化，因而分辨率可达0.01mg，属于高灵敏度的加速度传感器。

法律状态

法律状态公告日

2015-07-08 2015-07-08 2015-08-05 2015-08-05 2017-07-07

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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