专利名称：一种单晶炉用加热器及其加热工艺专利类型：发明专利
发明人：梁宇飞,张红霞,王建平,樊国庆,陈培杰,武皓洋,徐强,
王林
申请号：CN201910552389.3申请日：20190625公开号：CN110172730A公开日：20190827
摘要：本发明提供一种单晶炉用加热器，包括主加热部、副加热部和底加热部，副加热部与主加热部并行设置且位于主加热部下方，副加热部包括对称设置的第一副加热件和第二副加热件；底加热部与副加热部垂直设置且位于副加热部下端，底加热部包括对称设置的第一底加热件和第二底加热件；第一副加热件与第一底加热件并联连接形成一循环回路，第二副加热件与第二底加热件并联连接形成一循环回路；主加热部与副加热部之间设有第一间隙通道，副加热部与底加热部之间设有第二间隙通道。本发明还提出一种该加热器的加热工艺。本发明可保证热场温度均匀，提升石英坩埚和热场使用时间，降低生产成本，使单晶头部间隙氧含量降低，提高硅单晶质量，提高晶体成晶率。
申请人：内蒙古中环光伏材料有限公司
地址：010070 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号
国籍：CN
代理机构：天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：栾志超
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