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单晶硅加料器[实用新型专利]

2020-08-19 来源:好走旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:单晶硅加料器专利类型:实用新型专利发明人:陆昌忠

申请号:CN200820166095.4申请日:20081014公开号:CN201277809Y公开日:20090722

摘要:一种单晶硅加料器,包括一筒体,筒体内腔中置有一根具有轴套的中心轴,轴套由径向支撑杆定位在筒体上;所述中心轴下端设有一重锤,重锤向下伸出筒体的下端口,筒体下端口的端口壁上环设有多片合页,重锤上具有一个搭接平面;所述中心轴向上伸出筒体的上端口,中心轴的顶部为连接部,该连接部结构与单晶炉副室中的籽晶重锤连接部的结构相匹配,中心轴连接部下方的轴上设有若干个定位销孔;所述筒体的上端口端面外凸形成一挂沿。利用本加料器,在单晶炉拉制单晶棒过程中也可添加原料,因此,它具有确保足量投料、石英坩埚利用率和成品率高,以及能充分利用单晶棒尾料的优点。

申请人:浙江华友电子有限公司

地址:324300 浙江省开化县工业园区园一路40号

国籍:CN

代理机构:杭州裕阳专利事务所(普通合伙)

代理人:应圣义

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