一种用于直拉单晶炉抽空管道的清理装置[实用新型专利]

(12)实用新型专利

(10)授权公告号 CN 207418916 U(45)授权公告日 2018.05.29

(21)申请号 201721417928.5(22)申请日 2017.10.30

(73)专利权人 宁夏中晶半导体材料有限公司

地址 755100 宁夏回族自治区中卫市中宁

县新堡镇团结南路(72)发明人 陈娟　周志鹏　马占东　柯小龙　

周小渊　陈锋　苏波　(74)专利代理机构 银川长征知识产权代理事务

所 64102

代理人 马长增　姚源(51)Int.Cl.

C30B 30/04(2006.01)C30B 15/00(2006.01)C30B 29/06(2006.01)B08B 9/043(2006.01)

权利要求书1页 说明书2页 附图1页

(54)实用新型名称

一种用于直拉单晶炉抽空管道的清理装置(57)摘要

一种用于直拉单晶炉抽空管道的清理装置由弹簧杆、把手和刷头组成，把手安装固定在弹簧杆的一端，刷头安装固定在弹簧杆的另一端；所述的刷头呈圆盘状，沿边沿固定设置刷毛，刷头的盘面与弹簧杆垂直设置。有益效果在于：操作简单、使用方便，省时省力，能够彻底将抽空管道中的堆积物清除干净，减少管道堵塞风险及晶体品质异常的风险；提高了清理工作的效率和质量，保证了设备的正常有效工作，提高了单晶炉的成晶效率及晶体品质。

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权　利　要　求　书

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1.一种用于直拉单晶炉抽空管道的清理装置，其特征在于：由弹簧杆、把手和刷头组成，把手安装固定在弹簧杆的一端，刷头安装固定在弹簧杆的另一端；所述的刷头呈圆盘状，沿边沿固定设置刷毛，刷头的盘面与弹簧杆垂直设置。

2.如权利要求1所述的用于直拉单晶炉抽空管道的清理装置，其特征在于：所述的弹簧杆、把手和刷头采用绝磁材料制成。

3.如权利要求1所述的用于直拉单晶炉抽空管道的清理装置，其特征在于：所述的弹簧杆采用硬质弹簧结构，如不锈钢弹簧。

4.如权利要求1所述的用于直拉单晶炉抽空管道的清理装置，其特征在于：所述的刷头在盘面中心位置固定设置安装孔，通过螺栓固定安装在弹簧杆端部。

5.如权利要求1所述的用于直拉单晶炉抽空管道的清理装置，其特征在于：所述的刷头上的刷毛采用钢丝刷结构。

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说　明　书

一种用于直拉单晶炉抽空管道的清理装置

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技术领域：

[0001]本实用新型具体涉及一种单晶炉抽空管道的清理工具。

背景技术：

[0002]使用MCZ法拉制单晶硅棒是通过单晶炉加工生产的，生产过程必须是在惰性气体的环境中完成。单晶炉是由机架、主炉室、副炉室、翻板阀、坩埚升降旋转驱动装置、籽晶升降旋转驱动装置、炉体升降驱动装置、真空系统、充气系统及水冷系统等组成，炉体内的氩气由充气系统控制，晶体在生长过程中，炉体内氩气自上而下贯穿单晶生长区域，不但保证了单晶生长环境压力的稳定，而且会及时将因为高温产生的硅氧化物和杂质挥发物带走，从而保证了硅单晶的成晶率和品质，最后带有大量硅氧化物和杂质挥发物的气体经炉台抽空管道、排烟管道、除尘管道等利用主真空泵从炉台内部排出。但是，在生产过程中发现，高温挥发物在抽出炉体的过程中，因抽空管道(不锈钢件)内壁过冷，部分会附着在管道内壁上，随着运行时间的增长，挥发物呈递增趋势缓慢堆积，在一定程度上堵塞抽空管道，炉内挥发物及硅氧化无不能及时排除，造成炉内返气现象，从而影响成晶及晶体品质，使单晶炉不能正常运行。

[0003]为了提高单晶炉的生产质量，保证成晶率和品质，必须定时对炉台抽空管进行清理，然而受到单晶炉磁场影响，一些效果较好的电工清理工具使用存在极大的危险，无法使用，只能人工采用简单工具辅助清理。通常的清理方法是利用一个不会导电导磁的杆，在杆头包裹无尘布，伸入到抽空管中反复抽拉进行管道清理，因抽空管道两侧均有弯管，此种工具不易弯曲，管道清理不彻底，管道内壁挥发物反复堆积，更易加剧管道堵塞的风险。为了方便清理抽空管道两侧的弯管，为清理工具设计了弯曲的弯头，但是弯头工具不好控制，不能覆盖管面，清理较为片面，并且会造成挥发物及硅氧化无二次堆积飞现象。发明内容：

[0004]本实用新型的目的就是为了解决单晶炉抽空管道清理困难，且清理不干净的问题，提供一种专门针对直拉单晶炉抽空管道清理使用的清理装置。[0005]为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是设计一根弹簧杆件，一端设置把手，另一端固定安装一个圆盘状的刷头，利用圆盘边沿与抽空管道内壁活塞式接触，在圆盘边沿设置钢丝刷结构，清理管道侧壁，可以大面积充分接触抽空管道内壁并对管道进行清理；弹簧杆在反复推进清理管道的过程中，可以随抽空管道的弯道变化相应弯曲，不会影响刷头行动；往返多次即可彻底将抽空管道清理干净。

[0006]本实用新型用于直拉单晶炉抽空管道的清理装置由弹簧杆、把手和刷头组成，把手安装固定在弹簧杆的一端，刷头安装固定在弹簧杆的另一端；所述的刷头呈圆盘状，沿边沿固定设置刷毛，刷头的盘面与弹簧杆垂直设置。[0007]所述的弹簧杆、把手和刷头采用绝磁材料制成。[0008]所述的弹簧杆采用硬质弹簧结构，如不锈钢弹簧。

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说　明　书

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所述的刷头在盘面中心位置固定设置安装孔，通过螺栓固定安装在弹簧杆端部。

[0010]所述的刷头上的刷毛采用钢丝刷结构。[0011]本实用新型的有益效果在于：操作简单、使用方便，省时省力，能够彻底将抽空管道中的堆积物清除干净，减少管道堵塞风险及晶体品质异常的风险；提高了清理工作的效率和质量，保证了设备的正常有效工作，提高了单晶炉的成晶效率及晶体品质。附图说明：

[0012]附图1是本实用新型的结构示意图。[0013]图中：弹簧杆1、把手2、刷头3、刷毛31、螺栓32。

具体实施方式：

[0014]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型的技术方案进行详细的描述。[0015]如图1所示，本实用新型用于直拉单晶炉抽空管道的清理装置由弹簧杆1、把手2和刷头3组成，把手2安装固定在弹簧杆1的一端，刷头3安装固定在弹簧杆1的另一端；所述的刷头3呈圆盘状，沿边沿固定设置刷毛31，刷头3的盘面与弹簧杆1垂直设置。[0016]所述的弹簧杆1、把手2和刷头3采用绝磁材料制成。[0017]所述的弹簧杆1采用硬质弹簧结构，如不锈钢弹簧。[0018]所述的刷头3在盘面中心位置固定设置安装孔，通过螺栓32固定安装在弹簧杆1端部。

[0019]所述的刷头3上的刷毛31采用钢丝刷结构。

[0020]本实用新型用于直拉单晶炉抽空管道的清理装置可以在磁场条件下对抽空管道进行清理，具体操作方法及效果如下：

[0021]1)将本实用新型由抽空管道盲板处伸入管道中，管道与本装置构成活塞式运动结构；

[0022]2)清理人员手持把手2，反复抽拉对管道内壁进行清理，在刷头3进入弯道时，弹簧杆1自然弯曲，不影响对刷头3的推拉，刷头3自然沿管道内壁运动，能够充分接触到抽空管道两侧弯管处的隐藏挥发物。

[0023]3)刷头3在弹簧杆1的推拉作用下沿管道内壁前后运动，刷头3的盘面边沿能够大面积与管道内壁接触，通过刷毛31钢丝刷结构轻松将粘附在管壁上的杂物清除掉，多次变换角度，充分清理。

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说　明　书　附　图

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图1

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