一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置[实用新型专利]

(12)实用新型专利

(10)授权公告号(10)授权公告号 CN 203917314 U(45)授权公告日 2014.11.05

(21)申请号 201420306480.X(22)申请日 2014.06.10

(73)专利权人陕西国防工业职业技术学院

地址710300 陕西省西安市户县人民路8号(72)发明人王新海 张永军 李俊涛(74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限

公司 11002

代理人李迪(51)Int.Cl.

B08B 9/087(2006.01)C30B 15/00(2006.01)

权利要求书1页 说明书3页 附图3页权利要求书1页 说明书3页 附图3页

(54)实用新型名称

一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置(57)摘要

本实用新型涉及单晶炉清洁技术领域，具体为一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置。本实用新型通过在清洁材料下层添加弹性材料，增加清洁材料的柔性，实现所述清洁材料与炉筒内壁的软性接触，减少清洁除尘操作中因操作不当导致的清洁装置对炉筒内壁造成的划伤；通过采用支杆铰接结构设计，所述单晶炉副室炉筒内壁除尘装置可适应多种内径尺寸的炉筒的清洁需求；通过采用多弧形刷结构设计，所述单晶炉副室炉筒内壁除尘装置增大了清洁材料与炉筒内壁的接触面积，提高清洁效率。

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权 利 要 求 书

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1.一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置，其特征在于，所述单晶炉副室炉筒内壁除尘装置包括：多个支杆(1)、多个弧形刷(2)、多个推杆(3)、套筒(4)和操作杆(5)；所述支杆(1)、弧形刷(2)和推杆(3)数量相同；所述多个支杆(1)的数量至少为四个；所述操作杆(5)顶端设置有铰接盘a(6)；所述支杆(1)相对所述铰接盘a(6)的圆心按角度均匀分布在所述铰接盘a(6)的外圆周；多个所述支杆(1)一端与所述铰接盘a(6)活动铰接；所述支杆(1)杆体均布多个贯通的铰接孔；所述套筒(4)套在所述操作杆(5)上；所述套筒(4)设置有贯通的紧固螺纹孔；所述紧固螺纹孔装配有锁紧螺栓；所述套筒(4)中部设置有铰接盘b(7)；所述推杆(3)相对所述铰接盘b(7)的圆心按角度均匀分布在所述铰接盘b(7)的外圆周；多个所述推杆(3)的一端与所述铰接盘b(7)活动铰接；所述推杆(3)另一端与相应的所述支杆(1)上的多个铰接孔中的一个铰接孔通过可拆卸螺栓活动铰接；所述弧形刷(2)紧固在所述支杆(1)的另一端；所述弧形刷(2)曲率半径为100mm。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置，其特征在于，所述弧形刷(2)上依次胶接有弹性材料(8)和清洁材料(9)。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置，其特征在于，所述多个支杆(1)数量为八个。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置，其特征在于，所述多个贯通的铰接孔的数量为五个。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置，其特征在于，所述弹性材料(8)为：聚氨酯材料。

6.根据权利要求5所述的一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置，其特征在于，所述清洁材料(9)为：无尘纸。

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说 明 书

一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置

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技术领域

[0001]

本实用新型涉及单晶炉清洁技术领域，具体为一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装

置。

背景技术

[0002] 在太阳能光伏产业中，单晶炉是高效率单晶硅片的主要生产设备之一。单晶硅棒的生长工艺在惰性气体中进行，这就对单晶炉室内的环境提出来严格的要求，由于单晶炉副室清理工作的复杂性，现有技术中通常采用将清洁材料固定在木棍的顶端，蘸上无水乙醇后对副炉室的炉筒内壁进行清理。此方法中因为清洁材料与炉筒内壁的接触面较小，这样就增大了操作工人的劳动强度，而且容易出现内壁除尘效果不佳的现象，从而影响单晶硅棒的成晶率和单晶硅棒的品质，影响企业的生产效益。[0003] 已授权专利：CN203295650U单晶炉副室清扫装置，使用时操作过程复杂，采用的纤维纸在操作过程中如未压紧易发生脱落且使用过程中会产生碎屑，需要进行辅助性的二次清理，且装置本身对不同孔径的单晶炉副室适应性相对较弱，应用范围相对狭窄。[0004] 已授权专利：CN2028814239U单晶炉炉桶清扫装置，虽扩大了清扫装置的应用范围，但清洁端依旧采用纤维纸，存在操作过程中如未压紧易发生脱落且使用过程中会产生碎屑，需要进行辅助性的二次清理的技术问题；且清洁牵引方式为机械式，在克服牵引清洁阻力进行提升过程中若发生意外的装置偏置而带来的卡滞，若得不到及时的停止，易对单晶炉炉桶造成不可预知的炉壁损伤。

实用新型内容

[0005] (一)要解决的技术问题

[0006] 本实用新型的目的是解决单晶炉副室炉筒内壁清洁效率低下、质量不高的现象，提供一种结构新颖、操作简单的除尘装置。本实用新型针对现有技术中的不足要解决以下技术问题：

[0007] 通过在清洁材料下层添加弹性材料，增加清洁材料的柔性，减少清洁除尘操作中因操作不当导致的清洁装置对炉筒内壁造成的划伤；[0008] 通过采用支杆铰接结构设计，所述单晶炉副室炉筒内壁除尘装置可适应多种内径尺寸的炉筒的清洁需求；

[0009] 通过采用多弧形刷结构设计，所述单晶炉副室炉筒内壁除尘装置增大了清洁材料与炉筒内壁的接触面积，提高清洁效率。[0010] (二)技术方案

[0011] 为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置，其特征在于，所述单晶炉副室炉筒内壁除尘装置包括：多个支杆1、多个弧形刷2、多个推杆3、套筒4和操作杆5；所述支杆1、弧形刷2和推杆3数量相同；所述多个支杆1的数量至少为四个；所述操作杆5顶端设置有铰接盘a6；所述支杆1相对所述铰接盘a6的圆心按角度

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均匀分布在所述铰接盘a6的外圆周；多个所述支杆1一端与所述铰接盘a6活动铰接；所述支杆1杆体均布多个贯通的铰接孔；所述套筒4套在所述操作杆5上；所述套筒4设置有贯通的紧固螺纹孔；所述紧固螺纹孔装配有锁紧螺栓；所述套筒4中部设置有铰接盘b7；所述推杆3相对所述铰接盘b7的圆心按角度均匀分布在所述铰接盘b7的外圆周；多个所述推杆3的一端与所述铰接盘b7活动铰接；所述推杆3另一端与相应的所述支杆1上的多个铰接孔中的一个铰接孔通过可拆卸螺栓活动铰接；所述弧形刷2紧固在所述支杆1的另一端；所述弧形刷2曲率半径为100mm。[0012] 优选地，所述弧形刷2上依次胶接有弹性材料8和清洁材料9。[0013] 优选地，所述多个支杆1数量为八个。[0014] 优选地，所述多个贯通的铰接孔的数量为五个。[0015] 优选地，所述弹性材料8为：聚氨酯材料。[0016] 优选地，所述清洁材料9为：无尘纸。[0017] (三)有益效果

[0018] 本实用新型通过在清洁材料下层添加弹性材料，增加清洁材料的柔性，实现所述清洁材料与炉筒内壁的软性接触，减少清洁除尘操作中因操作不当导致的清洁装置对炉筒内壁造成的划伤；通过采用支杆铰接结构设计，所述单晶炉副室炉筒内壁除尘装置可适应多种内径尺寸的炉筒的清洁需求；通过采用多弧形刷结构设计，所述单晶炉副室炉筒内壁除尘装置增大了清洁材料与炉筒内壁的接触面积，提高清洁效率。附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

[0020] 图1是根据本实用新型一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置一个实施例的装置主视图示意图；

[0021] 图2是根据本实用新型一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置一个实施例的装置左视图示意图；

[0022] 图3是根据本实用新型一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置一个实施例的支杆示意图；

[0023] 图4是根据本实用新型一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置一个实施例的套筒示意图；

[0024] 图5是根据本实用新型一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置一个实施例的胶接有弹性材料和清洁材料的弧形刷示意图。

[0019]

具体实施方式

[0025] 下面结合说明书附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例仅用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。[0026] 图1～2所示，本实用新型提供了一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置，其特征在

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于，所述单晶炉副室炉筒内壁除尘装置包括：多个支杆1、多个弧形刷2、多个推杆3、套筒4和操作杆5；所述支杆1、弧形刷2和推杆3数量相同；所述操作杆5顶端设置有铰接盘a6；所述支杆1相对所述铰接盘a6的圆心按角度均匀分布在所述铰接盘a6的外圆周；多个所述支杆1一端与所述铰接盘a6活动铰接；图3所示，所述支杆1杆体均布多个贯通的铰接孔；所述套筒4套在所述操作杆5上；图4所示，所述套筒4设置有贯通的紧固螺纹孔；所述紧固螺纹孔装配有锁紧螺栓；所述套筒4中部设置有铰接盘b7；所述推杆3相对所述铰接盘b7的圆心按角度均匀分布在所述铰接盘b7的外圆周；多个所述推杆3的一端与所述铰接盘b7活动铰接；所述推杆3另一端与相应的所述支杆1上的多个铰接孔中的一个铰接孔通过可拆卸螺栓活动铰接；所述弧形刷2紧固在所述支杆1的另一端；所述弧形刷2曲率半径为100mm；图5所示，所述弧形刷2上依次胶接有弹性材料8和清洁材料9；所述多个支杆1数量为八个；所述多个贯通的铰接孔的数量为五个；所述弹性材料8为：聚氨酯材料；所述清洁材料9为：无尘纸。

[0027] 应用本实用新型实施例中所述一种单晶炉副室炉筒内壁除尘装置进行炉筒内壁除尘的方法：

[0028] 在一个所述支杆1上的多个铰接孔中选择合适的铰接孔与所述推杆3的另一端通过可拆卸螺栓活动铰接，其余支杆1也选择相同的铰接孔位与推杆3通过可拆卸螺栓活动铰接。

[0029] 用扳手松开所述锁紧螺栓；[0030] 在操作杆5上推拉套筒4，使所述弧形刷2紧贴单晶炉副室炉筒内壁。[0031] 锁紧所述锁紧螺栓。[0032] 推拉所述操作杆5，实现对所述单晶炉副室炉筒内壁的清洁。[0033] 以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

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说 明 书 附 图

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图1

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图2

图3

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说 明 书 附 图

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图4

图5

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