专利名称：一种高性能ZAO旋转靶材的制备方法专利类型：发明专利
发明人：康明生,崔娜,齐梦强,朱辉,吴洁,岳子云申请号：CN201310731271.X申请日：20131226公开号：CN103643207A公开日：20140319
摘要：一种高性能ZAO旋转靶材的制备方法，它涉及一种含氧化锌掺铝的陶瓷靶材成型的制备方法。本发明是要解决目前制备ZAO旋转靶材采用喷涂方法设备昂贵，制备的靶材密度低的技术问题。本发明的制备方法按以下步骤进行：一、将ZAO粉体在模具中压制成粗坯；二、采用真空热压烧结工艺制得ZAO旋转靶材。本发明的制备方法方法简便易行、效率高、耗能低，且制备过程中无需添加任何助剂；本发明制备的ZAO旋转靶材致密性好、电阻率低。本发明可用于防结雾风挡玻璃、隔热防辐射玻璃、液晶显示器、触屏玻璃和增透减反玻璃等领域。
申请人：河北东同光电科技有限公司
地址：052160 河北省石家庄市循环化工园区化工中路100号
国籍：CN
代理机构：北京爱普纳杰专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：王玉松
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