（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201910815065.4 （22）申请日 2019.08.30
（71）申请人 江苏顺风新能源科技有限公司
地址 213000 江苏省常州市武进高新区阳湖路99号
（10）申请公布号 CN110690319A
（43）申请公布日 2020.01.14
（72）发明人 刘斌;黄辉巍;江建楷
（74）专利代理机构 常州知融专利代理事务所(普通合伙)
代理人 路接洲
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种高效单晶硅电池的氧化退火工艺
（57）摘要
本发明涉及一种高效单晶硅电池的氧化退
火工艺，包括以下步骤，1)进舟；2)升温；3)炉管抽真空并检漏；4)氧化；5)恒温退火，在压力100‑150mbar，温度680‑710℃下维持15‑20min的退火并通入氮气5000‑10000sccm；6)降温退火，在压力100‑150mbar，温度620‑650℃下维持15‑20min的退火并通入氮气10000‑20000sccm；7)充气回压；8)出舟，结束工艺。本发明将常压氧化退火改为低压氧化退火，并在退火过程中采用
恒温退火以及降温退火，使得工艺过程中的气体氛围能够被精确控制，退火环境洁净也得到提高，使得电池片效率得到提升。
法律状态
法律状态公告日
2020-01-14 2020-01-14 2020-02-11
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效
法律状态
公开 公开
实质审查的生效
权利要求说明书
一种高效单晶硅电池的氧化退火工艺的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
一种高效单晶硅电池的氧化退火工艺的说明书内容是....请下载后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容