晶龙电子级石英坩埚替代进口
2022-07-11
来源:好走旅游网
化工中间体 Chemical Intermediate 2009年第12期 部分的三氯氢硅就可以被冷却下来,使尾气中三 氯氢硅的体积分数降至1%左右l 2】,这种方法不仅 提高产量,而且降低了尾气处理的难度。此外也有 温度对实验结果的影响,对合成尾气处理作了简 单的介绍。在备选的条件中,选择复合si做硅源, 医用石蜡作浆态床介质,CuC12-SbCI5作复合催化 剂,260~275 oC作为反应温度,该实验装置可以得 报道用活性炭吸附法处理尾气,主要原理是:活性 炭吸附尾气中的氯硅烷,当达到饱和后,由蒸汽加 热,脱出吸附的氯硅烷。 本实验主要用流动自来水吸收后加碱处理, 达标后排放。主要原理是:尾气中的SiCh、SiHC1 到较高的SiHC1,转化率和产率,并且整个试验装 置能长期稳定运行。对于尾气的处理,可以通过提 高尾气压力,降低冷凝温度来实现尾气中SiHC1 低含量,进而增加目标产品产量,提高装置的经济 效益。大规模工业化生产HC1和H 也可以采用相 与水生成SiO 和溶于水的HC1而被吸收,尾气中 HC1气体可以被不断流动自来水完全吸收,出来的 应的工艺进行回收再利用,剩下的尾气经过吸收 少量氢气被及时抽出实验室排放到空气中。该操 作主要是要调节自来水流量,确保尾气被完全吸 收,不留污染物。大规模工业生产可以提高尾气压 力来降低三氯氢硅在尾气中的含量,以致提高产 量,减低后处理难度,减少对环境的污染,HC1和 或吸附处理可以做到对环境零污染。 参考文献 【1】傅积责,化工百科全书(第6卷)有机硅化合物[MI.北京:化学工业 出版社,1994. H:也可以采用相应的工艺进行回收再利用。 3结束语 [2】王晓辉,何佳华三氯氢硅合成炉尾气的治理[J】.中国氯碱,2007. 收稿日期:2009.09.25 本文主要讨论了硅源,浆态床介质,催化剂, Research on synthesis of trichlorosilane in slurry reactor 0u Guoeheng Gou Yongtao Jiang Ying Zhang Rao (Lutianhua Group Company Ltd.,Sichuan,Luzhou 646300,China) Abstract:The method of synthesizing trichlorosilane in slurry reactor,the effect of medium, catalyzer,temperature on trichlorosilane synthesis was discussed in this article.The harness of tail gas of trichlorosilane synthesis furnace was also summarized. Keywords:Slurry reactor;Trichlorosilane 使拉晶成品率提高10个百分点。该公司此次研制 晶龙电子级石英坩埚替代进口 的新产品——l6英寸电子级双层石英与进口产品 相比,克服了黑点、二次污染、附着物多、杂质多、 两种石英砂熔点不一致导致外壁不平等问题,产 品杂质补偿度小,成晶更好,而且将坩埚价格拉低 了】000多元。 河北晶龙集团自主研发的16英寸电子级双 层石英坩埚以低价、高质、性能稳定在该集团取代 进口产品投入使用,年可降低采购成本600余万 元。 晶龙集团在国内率先解决了坩埚内大气泡 问题,其自主研发并应用的坩埚涂层核心技术可 摘自:《中化新网》