专利名称：一种蓝宝石单晶炉冷却装置专利类型：发明专利发明人：王慧远
申请号：CN201810750374.3申请日：20180710公开号：CN108796608A公开日：20181113
摘要：本发明提供一种蓝宝石单晶炉冷却装置，包括循环泵组，总进水管、总回水管，蓝宝石单晶炉上方设置有高位水箱，高位水箱配有高位进水管和高位出水管、液位变送器、报警装置、电磁球阀、流速变送器、PLC控制器，其中，循环泵组的电源电路、液位变送器、流速变送器连接PLC控制器输入端口，PLC控制器输出端口连接电磁球阀、报警装置和蓝宝石单晶炉加热装置电源电路。当出现供电故障时，可迅速切换供水源，使单晶炉还能够维持运行，同时设置感应器和PLC控制器，当备用电源也无法及时启动且检测到水箱中剩余水量无法在安全的时间范围内维持循环时，再关闭单晶炉，即可在不影响安全生产的前提下，挽回不必要的经济损失。
申请人：山西中聚晶科半导体有限公司
地址：030600 山西省晋中市山西示范区晋中开发区汇通产业园区机械园2号
国籍：CN
代理机构：太原晋科知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：赵科
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