专利名称：压电式微加工超声换能器及其制造方法专利类型：发明专利
发明人：F·方希里诺,F·F·维拉,A·迪马特奥申请号：CN201710400836.4申请日：20170531公开号：CN108246593A公开日：20180706
摘要：本发明涉及压电式微加工超声换能器及其制造方法。一种压电式微加工超声换能器(PMUT)(1)，包括：半导体本体(2)，该半导体本体具有第一空腔(6)和膜(8)，该膜悬置在该第一空腔(6)之上并且面向该半导体本体(2)的前侧(2a)；以及压电式换能器组件(16，18，20)，该压电式换能器组件至少部分地在该膜(8)之上延伸，该压电式换能器组件可被致动以用于生成对该膜(8)的偏转。第二空腔(4)延伸成掩埋在该膜(8)的外围区域(8a)中并且界定该膜(8)的中心区域(8b)。此外，该外围部分(8a)的刚度低于该中心部分(8b)的刚度。
申请人：意法半导体股份有限公司
地址：意大利阿格拉布里安扎
国籍：IT
代理机构：北京市金杜律师事务所
代理人：王茂华
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