专利名称：结合层结构专利类型：实用新型专利发明人：V·D·帕克荷,R·A·林德利申请号：CN201921479845.8申请日：20180928公开号：CN211700228U公开日：20201016
摘要：公开了一种结合层结构。本公开是将静电吸盘结合到温度控制基部的方法。根据实施方式，在包括静电吸盘的介电主体与温度控制基部之间形成结合层。流孔延伸穿过介电主体并且与温度控制基部中的流孔对准。结合层还配置有开口，开口与介电主体和温度控制基部中的孔对准。在一个方面中，可以将多孔插塞设置在流孔内以保护结合层。在另一方面中，将密封件设置在流孔内以密封结合层，使其与流孔中的气体隔离。
申请人：应用材料公司
地址：美国加利福尼亚州
国籍：US
代理机构：上海专利商标事务所有限公司
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