ARL989900X荧光仪真空系统常见故障诊断与排除

ARL989900X荧光仪真空系统常见故障诊断与排除

摘 要：X荧光光谱仪普遍应用于冶金分析、材料研究等领域，是目前快速进行常规元素检验的重要设备之一，其快捷的分析速度和良好的稳定性赢得广大使用者的青睐。而作为仪器核心部件的X光管、探测器、分析晶体、准直器等都在一个密封的真空环境内放置，真空情况会引起这些核心部件的工作稳定性及寿命。方法针对仪器经常出现的真空系统问题的诊断及处理，能准确快捷的对仪器故障进行诊断处理，有效提高仪器的稳定性。

关键词：真空度 分子泵

真空系统是X荧光仪核心部件所处的感觉系统，其良好的工作情况是保证仪器良好运行的关键所在。X荧光仪真空系统是通过与光室相连的分子泵与真空泵来构成的如下图所示。

一、常见故障诊断与处理

1.设备正常运转一段时间后，出现样品室抽气时间过长报警的故障诊断及排除方法：

1.1打开仪器操作界面设备状态栏，查看抽气时间，正常设定范围为10～120秒，正常工作范围为10～30S。若当前状态参数超出，说明样品室内有真空泄露情况。

1.2一般出现上述情况，主要是因为升降轴封老化引起的。打开仪器前面板，将试样传送系统及升降杆完全暴露出来，检查升降杆轴封是否有破损。如果有破损，直接更换。如果没有破损，可以在升降杆上面接近轴封附件涂抹密封脂后进行升降杆上下移动操作，（可以通过终端命令来完成），使密封脂完全涂在轴封内部，可以解决这一问题。

2.仪器正常运行一段时间后，出现真空度下降的故障诊断及处理方法：

2.1首先要查看报警，是否出现分子泵过热报警。然后查看分子泵工作状态参数，工作时间是否达到设定上限10000小时，是否需要加注润滑脂。

2.2检查真空泵状态，油位情况，油质情况，判断是否需要更换真空泵油。

2.3检查样品室与真空泵、分子泵连接接头部分是否有泄露。并检查样品室连接管道上的过滤器是否有堵塞、泄露情况，及时清理滤芯可以提高真空抽气效率。

2.4检查样品室黄铜密封（shutter）盖内侧是否脏了，一般做粉末样品分析时，样品室黄铜密封盖特别容易产生积灰，脏了后会引起密封不严，导致真空泄

露，所以要进行进行清理，而发生真空度升高问题是，也要进行仔细检查与处理。

2.5试样输送小车上面的密封圈脏了也会引起真空度升高情况，所以也要进行检查与清理。注意拆解时，旋转位置（光管正下方）与升降位置一定要手段旋转至最低端，才能将试样输送系统取出。

2.6当升降轴封、传输轴封与选择轴封长期使用老化后，也会引起真空度下降的情况，这时要检查各个轴封的内侧密封圈的完整性，必要时更换，也可在升降杆上涂抹密封脂，延长轴封的使用寿命。具体方法同样品室抽气时间过长的处理。

3.仪器光室开启再恢复后，真空过高的故障诊断及处理方法

3.1首先要检查仪器各个部位的密封圈，光管至光室部分，光室上下两部分的密封圈。仪器在长时间运行后放大气，密封圈会产生膨胀形变，而在重新安装后无法到位，产生泄露。仪器光室恢复后，在抽真空前，要将各个密封圈摆放好；抽真空的过程中，要将光室上下部位出密封圈向内推，但是要注意不能使用尖锐的物体，避免将密封圈弄伤。

3.2其次要检查手动放气阀处的密封情况，手动放气阀不能拧的太紧，否则会使放气阀所带的密封圈变形或破损引起真空泄露。

二、真空系统故障诊断与处理的注意要点

1.首先应该本着现检查外围附件，再进行内部检查的原则。当仪器真空不好时，对抽真空设备如真空泵、分子泵，真空管路，密封系统进行检查。密封系统检查时，可以利用终端命令将仪器内部真空情况显示至仪器小屏幕上（仪器状态栏），带稳定后，在用注射器在各密封圈上加注无水乙醇，观察其变化，利用无水乙醇易汽化原理来确认。

2.其次，要本着检修那里检查那里的原则，一般情况下，设备在运行良好时，检修设备后如果出现真空不好的情况，首先要检查检修部分与真空系统的关联部位。

3.最后，真空系统检修过程中，必须保证环境的绝对干净，部件的绝对干净，若密封件或抽真空系统内有灰尘（试样、环境）、棉絮（清洁用酒精棉擦拭后残留）等杂物时，也会对真空系统造成破坏。

参考文献：

[1]郭天明，林燕青. 最新分析仪器使用技术速查速用手册.北方工业出版社

[2]罗立强，詹秀春，李国会.X射线荧光光谱仪.化学工业出版社