专利名称：用于单晶炉的真空加热互锁装置专利类型：实用新型专利
发明人：范玉红,楚信博,朱瑞忠,王海涛申请号：CN201020641091.4申请日：20101203公开号：CN201901720U公开日：20110720
摘要：本实用新型公开了一种用于单晶炉的真空加热互锁装置，包括加热启动开关、紧急制动按钮、继电器Ⅰ、继电器Ⅱ、真空继电器以及蜂鸣器。使用本实用新型在单晶炉真空压力上升至设定值范围内时启动加热，如果在充气压力不到设定值或未充入氩气时，则不能进行加热，实现了加热与真空压力控制的互锁设置，提高了安全生产工作水平及工作效率，延长了石墨件寿命，降低了生产成本。
申请人：晶伟电子材料有限公司
地址：065201 河北省廊坊市三河市燕郊镇高新技术开发区晶伟电子材料公司
国籍：CN
代理机构：石家庄汇科专利商标事务所
代理人：刘闻铎
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