专利名称：一种MEMS器件及其制作方法专利类型：发明专利发明人：董维,林瑞钦,廖珮淳申请号：CN201910325646.X申请日：20190422公开号：CN110155934A公开日：20190823
摘要：本发明实施例公开了一种MEMS器件，所述器件包括：衬底基板，以及设置在所述衬底基板上的封装部件和内设于所述封装部件的内圈且在所述衬底基板上的MEMS部件，所述器件还包括密封部件，其中：所述密封部件设置在所述衬底基板和/或所述封装部件上；所述密封部件用于阻挡外界小分子接触到所述MEMS部件；本发明的实施例同时还公开了一种MEMS器件的制作方法。
申请人：武汉衍熙微器件有限公司
地址：430205 湖北省武汉市江夏区经济开发区藏龙岛梁山头村惠风同庆花园一期G17-S栋1-2层6室
国籍：CN
代理机构：北京派特恩知识产权代理有限公司
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