专利名称：压电元件和压电元件应用设备专利类型：发明专利
发明人：酒井朋裕,角浩二,一色铁也,高桥敏明,古林智一,北田
和也
申请号：CN201610191495.X申请日：20160330公开号：CN106229405A公开日：20161214
摘要：本发明提供一种实现了压电特性的提高和漏电流的抑制中的至少一方的压电元件及压电元件应用设备。压电元件(300)具备：第1电极(60)；通过溶液法在上述第1电极(60)上形成的由包含钾、钠、铌的钙钛矿型结构的复合氧化物构成的压电体层(70)；设置在上述压电体层(70)上的第2电极(80)，将上述压电体层(70)以10万倍拍摄截面SEM图像并在横向的测定值成为1273nm的条件下进行评价时，在该压电体层(70)中含有2个以上的空隙(75)，各空隙的在膜厚方向成为最大的直径中，最大值与最小值之差为14nm以下且上述最大值为24nm以下。
申请人：精工爱普生株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容