专利名称：玻璃粉末材料以及多孔的玻璃质膜的制造方法专利类型：发明专利发明人：滨田润
申请号：CN201310133130.8申请日：20130417公开号：CN103373817A公开日：20131030
摘要：本发明涉及玻璃粉末材料以及多孔的玻璃质膜的制造方法。其目的在于，获得能够作为液晶显示器、有机EL显示器、半导体制造工艺中的基板载置台的外涂层用的玻璃粉末材料以及用于形成多孔膜的制造方法。该玻璃粉末材料的特征在于，其为选自BiO系玻璃、PbO系玻璃、SiO-BO-RO系玻璃（R＝Li、Na、K）、PO系玻璃、VO系玻璃以及BO-ZnO系玻璃所组成的组中的至少一种玻璃粉末材料，该玻璃粉末材料的平均粒径为10～30μm，最大粒径为300μm以下，通过热喷涂法或喷雾法在基板上成膜。
申请人：中央硝子株式会社
地址：日本山口县
国籍：JP
代理机构：北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
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