专利名称：一种热盘保护装置专利类型：发明专利发明人：柴智
申请号：CN201510516352.7申请日：20150821公开号：CN105200398A公开日：20151230
摘要：一种热盘保护装置，解决了现有设备热盘侧壁与腔内其他零部件之间产生电弧放电现象。该装置包括热盘、陶瓷环、陶瓷套。所述陶瓷环放置在热盘上，陶瓷环的内圈表面与热盘的凸台外侧表面处于同心状态，陶瓷环的下表面与热盘的外圈上表面紧密贴合。再将陶瓷套由上而下套在热盘上。所述陶瓷套与陶瓷环设计有对接接口，对正后陶瓷套与陶瓷环的上表面处于同一平面，且陶瓷套与陶瓷环处于同心状态。此时，热盘凸台外侧表面与陶瓷环内圈表面之间存在一定间隙；陶瓷套内侧表面与热盘外侧表面之间也存在一定间隙。本发明利用了陶瓷耐高温且绝缘的特性，可以在高温条件下长时间使用，并填补电弧放电现象所需空间，起到阻碍电弧放电产生的作用。可广泛应用于半导体薄膜沉积的技术领域。
申请人：沈阳拓荆科技有限公司
地址：110179 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1-1号三层
国籍：CN
代理机构：沈阳维特专利商标事务所(普通合伙)
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