专利名称：用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置和方法专利类型：发明专利
发明人：丸山徹,松尾尚典,本岛靖之,江藤洋平,小松三教申请号：CN201710096031.5申请日：20170222公开号：CN107097145A公开日：20170829
摘要：本发明提供一种能够将研磨垫的表面温度保持在所期望的目标温度的用于对研磨垫的表面温度进行调整的装置和方法。一种用于对研磨垫(3)的表面温度进行调整的装置，其具备：垫接触构件(11)，其可与研磨垫(3)的表面接触，且在内部形成有加热流路(61)和冷却流路(62)；加热液供给管(32)，其连接到加热流路(61)；冷却液供给管(51)，其连接到冷却流路(62)；第一流量控制阀(42)，其安装于加热液供给管(32)；第二流量控制阀(56)，其安装于冷却液供给管(51)；垫温度测定器(39)，其对研磨垫(3)的表面温度进行测定；以及阀控制部(40)，其基于研磨垫(3)的表面温度对第一流量控制阀(42)和第二流量控制阀(56)进行操作。
申请人：株式会社荏原制作所
地址：日本东京都大田区羽田旭町11番1号
国籍：JP
代理机构：上海华诚知识产权代理有限公司
代理人：肖华
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