专利名称：硅片外形缺陷在线检测模组专利类型：实用新型专利发明人：刘夏初,苗新利,潘加永申请号：CN201220424811.0申请日：20120824公开号：CN202757892U公开日：20130227
摘要：本实用新型揭示一种硅片外形缺陷在线检测模组，用于检测在传输带上传输的硅片，包括照射在所述硅片上的扫描光源，及扫描相机；其中扫描光源的扫描光束以与所述硅片呈锐角的入射角照射到所述硅片上，所述扫描相机固定于所述扫描光源的扫描光束在出射光峰值最大的光线路径上。扫描光源无需提高输出功率即可使扫描相机感应到足够的光进行成像来检测硅片的外形缺陷，使得硅片外形缺陷在线检测模组成本较低、寿命较长。
申请人：库特勒自动化系统(苏州)有限公司
地址：215168 江苏省苏州市吴中经济开发区兴吴路71号
国籍：CN
代理机构：广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人：何平
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