专利名称:一种真空泵用预抽装置专利类型:发明专利
发明人:张振厚,王光玉,秦柏林申请号:CN201110051802.1申请日:20110304公开号:CN102654116A公开日:20120905
摘要:本发明涉及真空泵机组装置,具体地说是一种真空泵用预抽装置,该预抽装置安装在真空泵端部轴承腔内,包括倒气螺杆、阀体及过滤桶,其中倒气螺杆的一端与真空泵的泵体相连,另一端与阀体螺纹连接,在阀体上密封连接有过滤桶,轴承腔内的气体通过过滤桶过滤,依次经过阀体、倒气螺杆进入真空泵的低压端。本发明过滤充分,通过不同方式进行过滤,有效保证泵内气体清洁;结构简单、巧妙,适合所有干式真空泵结构,安装维护方便。
申请人:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
地址:110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街一号
国籍:CN
代理机构:沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人:白振宇
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