专利名称：一种太阳电池用多晶硅片的气相刻蚀制绒方法专利类型：发明专利
发明人：周浪,陈文浩,刘小梅,李妙申请号：CN201410311173.5申请日：20140702公开号：CN104051578A公开日：20140917
摘要：本发明公开了一种太阳电池用多晶硅片的气相刻蚀制绒方法，通过腐蚀性气体与多晶硅片化学反应来刻蚀多晶硅片表面，腐蚀性气体由混合酸溶液加热蒸发产生，或由混合酸溶液与硅反应产生，或由混合酸溶液加热蒸发及与硅反应共同产生，该方法不仅可以得到比现行混合酸溶液刻蚀制绒更好的减反射效果，还可以解决金刚石切割太阳电池用多晶硅片的表面制绒问题。
申请人：周浪
地址：330031 江西省南昌市学府大道999号南昌大学材料学院
国籍：CN
代理机构：江西省专利事务所
代理人：杨志宇
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