(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111279443 A(43)申请公布日 2020.06.12
(21)申请号 201880068331.5(22)申请日 2018.09.07
(30)优先权数据
2017-206566 2017.10.25 JP(85)PCT国际申请进入国家阶段日
2020.04.20(86)PCT国际申请的申请数据
PCT/JP2018/033296 2018.09.07(87)PCT国际申请的公布数据
WO2019/082523 JA 2019.05.02(71)申请人 KOA株式会社
地址 日本长野县(72)发明人 松本健太郎
权利要求书1页 说明书9页 附图9页
(74)专利代理机构 北京柏杉松知识产权代理事
务所(普通合伙) 11413
代理人 袁波 刘继富(51)Int.Cl.
H01C 17/242(2006.01)H01C 7/00(2006.01)H01C 17/065(2006.01)
CN 111279443 A(54)发明名称
片式电阻器及片式电阻器的制造方法(57)摘要
本发明提供一种片式电阻器，其能够减轻由
并且能够提高微裂缝引起的对特性的不良影响，
电涌特性。片式电阻器(1)具有绝缘基板(2)、在绝缘基板(2)上隔开规定间隔相向配置的第一电极(3)和第二电极(4)以及桥接第一电极(3)和第二电极(4)之间的电阻体(5)，该电阻体(5)形成为具有与第一电极(3)和第二电极(4)隔开间隙地相向的多个回转部(5b)的曲折形状，在片式电阻器(1)中，在电阻体(5)形成有与回转部(5b)相向的微调槽(7A、7B)，从第一电极(3)分离的浮岛导体(6A)形成在一个回转部(5b)，并且从第二电极(4)分离的浮岛导体(6B)形成在另一个回转部(5b)。
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权 利 要 求 书
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1.一种片式电阻器，其特征在于，具有：绝缘基板；一对电极，其以隔开规定间隔的方式相向配置在该绝缘基板上；以及电阻体，其对该一对电极之间进行桥接，
所述电阻体形成为具有与所述电极隔开间隙而相向的多个回转部的曲折形状，在所述片式电阻器中，在所述回转部形成有浮岛导体，并且在所述电阻体形成有朝向所述浮岛导体并在电极间方向延伸的微调槽，所述浮岛导体通过形成在所述电极的狭缝而从该电极分离。
2.根据权利要求1所述的片式电阻器，其特征在于，所述微调槽形成为电极间距离的1/2以上的长度。3.根据权利要求1所述的片式电阻器，其特征在于，所述狭缝与所述微调槽连续。
4.根据权利要求1所述的片式电阻器，其特征在于，
所述电阻体具有朝向所述回转部并在电极方向延伸的切口，该切口与所述狭缝连续，并且所述切口设定为比所述狭缝的宽度宽。
5.根据权利要求1所述的片式电阻器，其特征在于，
在一对所述电极的至少一个形成有朝向对方侧的电极方向突出的凸部，并且在该凸部连接有所述电阻体，通过相对于所述凸部沿着与电极间方向正交的方向形成所述狭缝，所述凸部从所述电极分离而成为所述浮岛导体。
6.根据权利要求5所述的片式电阻器，其特征在于，
在所述电阻体印刷形成朝向所述回转部并在电极方向延伸的切口，并且所述凸部的宽度设定为比与该凸部重叠的所述电阻体的宽度小，所述狭缝的顶端与所述切口连续。
7.一种片式电阻器的制造方法，其特征在于，所述片式电阻器具有：绝缘基板；一对电极，其以隔开规定间隔的方式相向配置在该绝缘基板上；以及电阻体，其对该一对电极之间进行桥接，
所述电阻体形成有具有与所述电极隔开间隙而相向的多个回转部的曲折形状，所述片式电阻器的制造方法包括：
通过在所述电极形成到达与所述电阻体的连接部位的狭缝，在所述回转部形成从所述电极分离的浮岛导体的工序；以及，
延长所述狭缝而在所述电阻体形成朝向所述浮岛导体并在电极间方向延伸的微调槽的工序。
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说 明 书
片式电阻器及片式电阻器的制造方法
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技术领域
[0001]本发明涉及通过在设置于绝缘基板上的电阻体形成微调槽来调节电阻值的片式电阻器和这种片式电阻器的制造方法。
背景技术
[0002]片式电阻器主要由长方体形状的绝缘基板、在绝缘基板的表面隔开规定间隔相向配置的一对表面电极、在绝缘基板的背面隔开规定间隔相向配置的一对背面电极、桥接表面电极和背面电极的端面电极、桥接成对的表面电极彼此的电阻体以及覆盖电阻体的保护膜等构成。
[0003]一般地，在制造这样的片式电阻器的情况下，在对大尺寸的集合基板一并地形成多个电极、电阻体、保护膜等之后，沿着格子状的分割线(例如分割槽)分割该集合基板，从而获得多个片式电阻器。在该片式电阻器的制造过程中，在集合基板的一面通过印刷以及烧制电阻膏来形成多个电阻体，但是由于难以避免因印刷时的位置偏移、渗漏或者烧制炉内的温度不均等的影响而在各电阻体的大小、膜厚上产生若干偏差，因此，在集合基板的状态下在各电阻体形成微调槽，进行设定为所希望的电阻值的电阻值调节作业。[0004]在这样结构的片式电阻器中，当施加由静电、电源噪声等产生的浪涌电压时，则由于过剩的电应力而对电阻器的特性产生影响，在最坏的情况下，有时会破坏电阻器。为了提高电涌特性，已知如果使电阻体成为曲折形状(蜿蜒形状)而延长全长，则电位的下降变得平缓，能够改善电涌特性。[0005]因此，如图12所示，提出了如下的片式电阻器100：在绝缘基板11的两端部隔开规定间隔形成一对表面电极12，接着，在这两个表面电极12之间通过印刷技术形成两次回转曲折的电阻体13，然后，在该电阻体13的未曲折的区域通过激光微调法形成微调槽14，由此使电阻体13三次回转曲折(参照专利文献1)。[0006]在该片式电阻器100中，通过并用丝网印刷等印刷技术和激光微调加工，能够增加电阻体13的全长(三次回转曲折)而提高电涌特性，并且微调槽14的形成也兼作电阻值的调节，因此能够提高电阻值精度。[0007]现有技术[0008]专利文献[0009]专利文献1：日本特开平9-205004号公报。发明内容
[0010]发明要解决的课题
[0011]在专利文献1所记载的现有技术中，通过形成直线状延伸的微调槽14，能够在调节电阻值同时兼使电阻体13曲折，因此，与仅使用印刷技术来形成曲折形状的电阻体13的情况相比，能够提高电阻值精度。但是，微调槽14的顶端部分的电阻体13因微裂纹的产生而成为对负载较弱的部分，并且该部分还是在电阻体13中负载尤为集中的回转部的内侧，所以
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发生由负载引起的电阻值变化等不良情况的危险性增高。
[0012]本发明是鉴于这样的现有技术的实际情况而提出的，所以其第一目的在于提供一种片式电阻器，其能够减轻由微裂纹引起的对特性的不良影响，并且能够提高电涌特性；其第二目的在于提供一种这样的片式电阻器的制造方法。[0013]用于解决课题的方案
[0014]为了达到上述第一目的，本发明的片式电阻器的特征在于，具有：绝缘基板；一对电极，其以隔开规定间隔的方式相向配置在该绝缘基板上；以及电阻体，其对该一对电极之间进行桥接，所述电阻体形成为具有与所述电极隔开间隙而相向的多个回转部的曲折形状，在所述片式电阻器中，在所述回转部形成有浮岛导体，并且在所述电阻体形成有朝向所述浮岛导体并在电极间方向延伸的微调槽，所述浮岛导体通过形成在所述电极的狭缝而从该电极分离。
[0015]在这样构成的片式电阻器中，在与电极隔开间隙相向的回转部形成有浮岛导体，由于流过回转部的电流容易流过形成在回转部外侧的电阻较小的浮岛导体，所以能够减轻施加在回转部内侧的负载，即使在微调槽的顶端部产生微裂缝，也能够减轻由微裂缝引起的对特性的不良影响。另外，浮岛导体是通过在电极设置有狭缝而从电极分离的部分，所以不需要特意另外设置浮岛导体，从而能够容易地制造片式电阻器。而且，不需要考虑在电阻体的回转部和电极之间的位置偏移或渗漏等而确保较宽的间隙，相应地，能够扩大电阻体的形成空间，因此，能增加曲折形状的电阻体的全长，从而能够实现电涌特性优良的片式电阻器。
[0016]在上述结构的片式电阻器中，微调槽形成为电极间距离的1/2以上的长度时，则流过回转部的电流容易流过电阻较小的浮岛导体，所以能够进一步减轻施加在回转部内侧的负载。[0017]另外，在上述结构的片式电阻器中，可以通过不同的工序或者使用不同的方法形成狭缝和微调槽，但是，如果这些狭缝和微调槽是连续的，例如，如果使照射到电极的激光直接延伸到电阻体，则可以连续地进行基于狭缝的浮岛导体的形成和基于微调槽的电阻值调节。[0018]另外，在上述结构的片式电阻器中，可以构成为通过微调槽来规定电阻体的曲折形状，但也可以构成为通过电阻体的印刷图案和微调槽双方来规定曲折形状。例如，在通过电阻体的印刷图案来形成2个回转部中的一个的情况下，如果在电阻体预先印刷形成朝向回转部并向对方侧的电极方向延伸的切口，使形成在电极的狭缝的顶端与切口连续，并且将切口设定为与狭缝相比宽度较宽，则由于与切口相连续的狭缝的顶端从电阻体分离，所以不会在电阻体产生微裂缝。因此，能够进一步减轻由微裂缝引起的对特性的不良影响。另外，也可以在切口的全长的整个范围将切口的宽度设定得比狭缝宽，但也可以仅在切口中的与狭缝的顶端相连续的部分将切口的宽度设定得比狭缝宽。[0019]另外，在上述结构的片式电阻器中，当构成为在一对电极的至少一个形成有向对方侧的电极方向突出的凸部，并且在该凸部连接有电阻体，通过相对于凸部沿着与电极间方向正交的方向形成狭缝，凸部从电极分离而成为浮岛导体时，则由于能够直线地切断凸部，所以能够容易地形成浮岛导体。[0020]在这种情况下，当在电阻体印刷形成朝向回转部并在电极方向延伸的切口，并且
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凸部的宽度设定得比与该凸部重叠的电阻体的宽度小，纵向切断凸部的狭缝的顶端与该切口相连续时，则在凸部和电阻体的重叠部分的附近确保与切口相连的空间，由于与该空间相连续的狭缝的顶端与电阻体分离，所以不会在电阻体产生微裂缝。因此，能够将切口的宽度设定得较窄，相应地能够扩大电阻体的形成空间。[0021]另外，为了实现上述第二目的，本发明的片式电阻器的制造方法为，所述片式电阻器具有：绝缘基板；一对电极，其以隔开规定间隔的方式相向配置在该绝缘基板上；以及电阻体，其对该一对电极之间进行桥接，所述电阻体形成有具有与所述电极隔开间隙而相向的多个回转部的曲折形状，所述片式电阻器的制造方法包括：通过在所述电极形成到达与所述电阻体的连接部位的狭缝，在所述回转部形成从所述电极分离的浮岛导体的工序；以及，延长所述狭缝在所述电阻体形成朝向所述浮岛导体并在电极间方向延伸的微调槽的工序。
[0022]在包含这样工序的片式电阻器的制造方法中，在与微调槽的顶端部相向的电阻体的回转部形成浮岛导体，由于流过该回转部的电流容易流过形成在回转部外侧的电阻较小的浮岛导体，所以能够减轻施加在回转部内侧的负载，即使在微调槽的顶端部产生微裂缝，也能够减轻由微裂缝引起的对特性的不良影响。另外，由于浮岛导体是通过在电极设置狭缝而从电极分离的部分，所以不需要特意另外设置浮岛导体，从而能够容易地制造片式电阻器。而且，不需要考虑在电阻体的回转部和电极之间的位置偏移或渗漏等而确保较宽的间隙，相应地，能够扩大电阻体的形成空间，因此，能增加曲折形状的电阻体的全长，从而能够实现电涌特性优良的片式电阻器。[0023]发明效果
[0024]根据本发明，可以提供一种片式电阻器，其可以减轻由微裂缝引起的对特性的不良影响，并且可以提高电涌特性。附图说明
[0025]图1是本发明第一实施例的片式电阻器的俯视图。
[0026]图2是表示第一实施例的片式电阻器的制造工序的说明图。[0027]图3是本发明第二实施例的片式电阻器的俯视图。[0028]图4是本发明第三实施例的片式电阻器的俯视图。
[0029]图5是表示第三实施例的片式电阻器的制造工序的说明图。[0030]图6是本发明第四实施例的片式电阻器的俯视图。[0031]图7是本发明第五实施例的片式电阻器的俯视图。
[0032]图8是表示第五实施例的片式电阻器的制造工序的说明图。[0033]图9是本发明第六实施例的片式电阻器的俯视图。[0034]图10是本发明第七实施例的片式电阻器的俯视图。
[0035]图11是表示第七实施例的片式电阻器的制造工序的说明图。[0036]图12是现有例的片式电阻器的俯视图。
具体实施方式
[0037]参照附图说明本发明的实施方式，则如图1所示，本发明的第一实施方式的片式电
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阻器1主要由：长方体形状的绝缘基板2、在绝缘基板2的表面的长度方向两端部隔开规定间隔相向配置的第一电极3和第二电极4、与这些第一电极3和第二电极4连接的曲折形状的电阻体5以及覆盖电阻体5的未图示的保护膜等构成。[0038]绝缘基板2由陶瓷等构成，该绝缘基板2是将后述的大尺寸的集合基板沿着纵横的分割槽分割而获得的多个基板。[0039]第一电极3和第二电极4是对Ag系膏进行丝网印刷并使其干燥、烧制而成的电极。图示左侧的第一电极3的以台阶状突出的下端部与电阻体5的一端部连接，图示右侧的第二电极4的以台阶状突出的上端部与电阻体5的另一端部连接。
[0040]电阻体5是将氧化钌等电阻膏进行丝网印刷并使其干燥、烧制而成的，该电阻体5形成为在电极间方向延伸的引线部5a经由将延伸方向反转的回转部5b而连续的曲折形状(蜿蜒形状)。在本实施例的情况下，形成了3个引线部5a经由2个回转部5b交替连续的两次回转曲折的电阻体5，在这3个引线部5a中，下段侧的引线部5a与第1电极3连接，上段侧的引线部5a与第2电极4连接。另外，在2个回转部5b分别形成有浮岛导体6A、6B，这些浮岛导体6A、6B由与第一电极3、第二电极4相同的材料构成。图示左侧的浮岛导体6A隔着L字状的狭缝S1与第一电极3相向，图示右侧的浮岛导体6B隔着倒L字状的狭缝S2与第二电极4相向。[0041]在电阻体5形成有调节电阻值用的2条微调槽7A、7B，通过这些微调槽7A、7B，电阻体5成为S字状的曲折形状。图示下侧的微调槽7A与形成在第一电极3的狭缝S1的顶端部连续并在电极间方向延伸，该微调槽7A的顶端与形成在图示右侧的回转部5b上的浮岛导体6B相向。图示上侧的微调槽7B与形成在第二电极4的狭缝S2的顶端部连续并在电极间方向延伸，该微调槽7B的顶端与形成在图示左侧的回转部5b的浮岛导体6A相向。详细内容将在后面叙述，但狭缝S1和微调槽7A以及狭缝S2和微调槽7B通过激光的照射而分别连续地形成，各自的宽度尺寸设定为相同。
[0042]未图示的保护膜是将环氧系的树脂膏进行丝网印刷并加热固化而成的，该保护膜具有保护电阻体5不受外部环境影响的功能。[0043]接着，参照图2对如上所述结构的片式电阻器1的制造工序进行说明。[0044]首先，准备要取得多个绝缘基板2的大尺寸的集合基板。在该集合基板上预先呈格子状设置有一次分割槽和二次分割槽，由两分割槽划分的网格的每一个成为1个片区域。图2中以相当于1个片区域的集合基板2A为代表进行表示，但实际上是对相当于多个片区域的集合基板，一并进行以下说明的各工序。[0045]即，如图2(a)所示，在该集成基板2A的表面丝网印刷Ag系膏后，对其进行干燥、烧制而形成一对第一电极3和第二电极4(表面电极形成工序)。另外，在该表面电极形成工序的同时或者前后，在集成基板2A的背面丝网印刷Ag系膏之后，对其进行干燥、烧制，由此形成与第一电极3、第二电极4对应的未图示的背面电极(背面电极形成工序)。[0046]接着，通过在集合基板2A的表面丝网印刷氧化钌等电阻体膏并进行干燥、烧制，如图2(b)所示，形成两端部与第一电极3和第二电极4重叠的长方形的电阻体5(电阻体印刷工序)。
[0047]接着，如图2(c)所示，从第一电极3的上端部向与电极间方向正交的方向(下方)照射激光后，将其变换为与电极间方向成直角的方向并对电阻体5也照射激光(参照附图标记LT1)。
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由此，如图2(d)所示，形成从第一电极3的上端部到达电阻体5的L字状的狭缝S1，
通过该狭缝S1从第一电极3分离的部分成为浮岛导体6A(电极切断工序)。另外，在电阻体5形成与狭缝S1的顶端连续的微调槽7A，该微调槽7A朝向第二电极4以直线状延伸，由此，电阻体5的电阻值被调节到大致低于目标电阻值的值(电阻值调节工序)。[0049]接着，如图2(d)所示，从第二电极4的下端部向与电极间方向正交的方向(上方)照射激光后，将其变换为与电极间方向成直角的方向并对电阻体5也照射激光(参照附图标记LT2)。
[0050]由此，如图2(e)所示，形成从第二电极4的下端部到达电阻体5的倒L字状的狭缝S2，通过该狭缝S2从第二电极4分离的部分成为浮岛导体6B。另外，在电阻体5形成与狭缝S2的顶端连续的微调槽7B，该微调槽7B朝向第一电极3以直线状延伸，由此，电阻体5的电阻值被调节到成为目标电阻值。另外，狭缝S1和狭缝S2的形成顺序也可以与上述相反，也可以在从第二电极4侧形成狭缝S2和与其连续的微调槽7B之后，从第一电极3侧形成狭缝S1和与其连续的微调槽7A。[0051]这样，在形成狭缝S1、S2和2条微调槽7A、7B的时刻，印刷成长方形的电阻体5成为经由2个回转部5b而连续的曲折形状，在这2个回转部5b形成从第一电极3和第二电极4分离的浮岛导体6A、6B。另外，也可以用由玻璃膏等构成的预涂层覆盖电阻体5的表面，从该预涂层的上方照射激光。[0052]接着，在包含两狭缝S1、S2的区域丝网印刷环氧类树脂膏并加热固化，由此形成覆盖包含第一电极3和第二电极4的浮岛导体6A、6B的一部分和电阻体5的整体的未图示的保护膜(保护膜形成工序)。
[0053]至此为止的各工序是对用于获得多个基板的集合基板2A一并进行的处理，但在下一工序中，通过进行将集合基板2A沿着一次分割槽分割成条状的一次断裂加工，获得设置有相当于多个片区域的未图示的条状基板(一次分割工序)。接着，在条状基板的分割面涂敷Ag膏并进行干燥、烧制，或者溅射Ni/Cr来代替Ag膏，由此形成将第一电极3及第二电极4与对应的背面电极桥接的未图示的端面电极(端面电极形成工序)。[0054]然后，通过进行沿着二次分割槽分割条状基板的所谓的二次断裂加工，得到与片式电阻器1同等大小的片单体(二次分割工序)。最后，在单片化后的各片单体的绝缘基板的长度方向两端部实施Ni和Au、Sn等的电解电镀，形成覆盖从保护膜露出的第1电极3和第2电极4的未图示的外部电极，由此得到图1所示的片式电阻器1。[0055]如上说明的那样，在第一实施方式的片式电阻器1中，在与微调槽7A、7B的顶端部相向的电阻体5的回转部5b形成浮岛导体6A、6B，流过回转部5b的电流容易流过形成在回转部5b外侧的电阻较小的浮岛导体6A、6B，所以能够减轻施加在回转部5b内侧的负载，即使在微调槽7A、7B的顶端部产生微裂缝，也能够减轻由微裂缝引起的对特性的不良影响。[0056]另外，由于浮岛导体6A、6B是通过狭缝S1、S2与第一电极3和第二电极4分离的部分，所以不需要特意另外设置浮岛导体6A、6B那样麻烦的工序，从而能够容易地制造片式电阻器1。而且，不需要考虑在电阻体5的回转部5b和两电极3和4之间的位置偏移或渗漏等而确保较宽的间隙，相应地，能够扩大电阻体5的形成空间，因此，能够增加曲折形状的电阻体5的全长，能够实现电涌特性优良的片式电阻器1。[0057]进而，由于狭缝S1、S2和微调槽7A、7B连续，所以可以将照射到第一电极3的激光直
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接延伸到电阻体5来形成微调槽7A，或者将照射到第二电极4的激光直接延伸到电阻体5来形成微调槽7B，可以连续地进行浮岛导体6A、6B的形成和电阻值调节。[0058]图3是本发明的第二实施例的片式电阻器10的俯视图，对与图1对应的部分赋予相同的附图标记。第二实施例的片式电阻器10与第一实施例的片式电阻器1的不同之处在于与狭缝S2连续的微调槽7B的顶端到达了浮岛导体6A，除此以外的结构原则上相同。[0059]根据这样构成的片式电阻器10，在与浮岛导体6A接触的微调槽7B的顶端不产生微裂缝，产生微裂缝的部位仅为与另一个浮岛导体6B相向的微调槽7A的顶端的1处，因此，可以进一步减轻因微裂缝引起的对特性的不良影响。
[0060]图4是本发明的第三实施例的片式电阻器20的俯视图，图5是示出第三实施例的片式电阻器20的制造工序的说明图，并且与图1和图2对应的部分被赋予相同的附图标记。[0061]图4所示的第三实施例的片式电阻器20与第一实施例的片式电阻器1的不同之处在于在电阻体5印刷形成有从第二电极4向一个浮岛导体6A延伸的切口8，通过该切口8和从第一电极3向另一个浮岛导体6B延伸的微调槽7A来规定电阻体5的曲折形状，除此以外的结构原则上相同。即，通过印刷形成于电阻体5的切口8来规定一个回转部5b，并且构成为该切口8与形成于第二电极4上的狭缝S2的顶端相连续，切口8的宽度尺寸设定为比狭缝S2足够宽。
[0062]对这样构成的片式电阻器20的制造工序进行说明，则如图5(a)所示，在集合基板2A的表面形成以规定间隔相向的一对第一电极3和第二电极4之后，如图5(b)所示，印刷形成两端部与第一电极3和第二电极4重叠的电阻体5。在该电阻体5的内侧区域形成有以第二电极4为起点延伸到第一电极3的近前位置的长方形的切口8。[0063]接着，如图5(c)所示，在从第二电极4的下端部向与电极间方向正交的方向(上方)照射激光后，将其变换为与电极间方向成直角的方向并扫描到切口8内(参照附图标记LT2)，由此，如图5(d)所示，当形成从第二电极4的下端部到达切口8的倒L字状的狭缝S2时，则通过该狭缝S2得到从第二电极4分离的浮岛导体6B。此时，由于切口8相对于狭缝S2设定得较宽，所以即使切口S2的顶端相对于切口8有些许的位置偏差，也能够简单且可靠地使狭缝S2的顶端与切口8连续。此外，由于与切口8连续的狭缝S2的末端与电阻体5分离，所以在电阻体5中不产生微裂缝。[0064]接着，如图5(d)所示，在从第一电极3的上端部向与电极间方向正交的方向(下方)照射激光后，将其变换为与电极间方向成直角的方向(参照附图标记LT1)，由此，如图5(e)所示，在第一电极3上形成L字状的狭缝S1，并且在电阻体5形成与狭缝S1的顶端连续的微调槽7A。通过该缝隙S1得到从第一电极3分离的浮岛导体6A，该浮岛导体6A形成于与切口8相向的回转部5b。另外，通过调节槽7A来调节电阻值，以使电阻体5的电阻值成为目标电阻值。此刻，电阻体5通过切口8和微调槽7A而成为具有2个回转部5b的曲折形状。另外，此后的工序与第1实施例基本相同，因此在此省略重复的说明。[0065]如上说明的那样，在第三实施例的片式电阻器20中，在电阻体5预先印刷形成朝向一个回转部5b向电极方向延伸的切口8，由于该切口8与在第二电极4形成的狭缝S2的顶端连续，并且将切口8的宽度设定得比狭缝S2宽，所以在与切口8相连续的狭缝S2的顶端不会产生微裂缝，可以进一步减轻微缝纹引起的对特性的不良影响。[0066]图6是本发明的第四实施例的片式电阻器30的俯视图，对与图1对应的部分赋予相
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同的附图标记。在第三实施例的片式电阻器20中，虽然在从第一电极3分离的浮岛导体6A和切口8之间夹有电阻体5的一部分，但也可以如图6所示的片式电阻器30那样，将切口8的顶端延伸至浮岛导体6A。[0067]在此，在由切口8分离的2个电阻体5中，当对图示上侧的电阻体赋予附图标记5A，对图示下侧的电阻体赋予附图标记5B时，则电阻体5A的宽度设定得比形成有微调槽7A的电阻体5B的宽度窄。这样，则负载容易施加在宽度较窄的电阻体5A上，由于在该电阻体5A上不会产生由微调槽而产生的微裂缝，所以能够减轻形成有微调槽7A的电阻体5B的负载，其结果是，能够提高片式电阻器30整体的负载特性。
[0068]图7是本发明的第五实施例的片式电阻器40的俯视图，图8是示出第五实施例的片式电阻器40的制造工序的说明图，并且对与图1和图2对应的部分被赋予相同的附图标记。图7所示的第五实施例的片式电阻器40中，构成为浮岛导体6B通过直线状延伸的狭缝S2而从第二电极4分离，切口8以在该狭缝S2的顶端连续的方式形成。[0069]对这样构成的片式电阻器40的制造工序进行说明，则首先，如图8(a)所示，形成在集合基板2A的表面隔开规定间隔而相向的第一电极3和第二电极4。此时，第一电极3为长方形，但在第二电极4上形成有向第一电极3突出的凸部4a。[0070]接着，如图8(b)所示，印刷形成两端部与第一电极3和第二电极4重叠的电阻体5。该电阻体5具有形成于第一电极3和第二电极4之间的长方形的电阻体5A和形成于第一电极3和凸部4a之间的长方形的电阻体5B，这些电阻体5A和电阻体5B夹着宽度较窄的切口8而相向。在此，电阻体5A的宽度设定得比电阻体5B的宽度窄，凸部4a的宽度设定得比该电阻体5B的宽度窄。
[0071]接着，如图8(c)所示，从第二电极4突出的凸部4a的下端部向上方照射激光，使该激光扫描到通过凸部4a的位置(参照附图标记LT2)。由此，如图8(d)所示，形成在第二电极4并纵向切断凸部4a并到达切口8的直线状狭缝S2，通过该狭缝S2得到从第二电极4分离的浮岛导体6B。
[0072]接着，如图8(d)所示，在从第一电极3的上端部向与电极间方向正交的方向照射激光后，将其变换为与电极间方向成直角的方向(参照附图标记LT1)，由此，如图8(e)所示，在第一电极3形成L字状的狭缝S1，并且在电阻体5B形成与狭缝S1的顶端相连续的微调槽7A。通过该狭缝S1得到从第一电极3分离的浮岛导体6A，并且通过微调槽7A调节电阻值，以使电阻体5的电阻值成为目标电阻值。另外，此后的工序与第1实施例基本相同，因此在此省略重复的说明。
[0073]如上说明的那样，在第五实施例的片式电阻器40中，形成在第二电极4朝向对方侧的第一电极3突出的凸部4a，相对于该凸部4a沿着与电极间方向正交的方向形成狭缝S2，由此凸部4a从第二电极4分离而得到浮岛导体6B，因此通过凸部4a的切断能够容易地形成浮岛导体6B。而且，由于在电阻体5印刷形成有规定曲折形状的一部分的切口8，并且将凸部4a的宽度设定为小于与凸部4a重叠的电阻体5B的宽度，所以能够在凸部4a与电阻体5B重叠的部分的附近确保连接切口8的空间。并且通过使狭缝S2的顶端与该空间连续，狭缝S2的顶端可以与电阻体5A分离，因此在电阻体5A不产生微裂缝，其结果是，可以将通过印刷规定的切口8的宽度设置得较窄，并且相应地可以增加电阻体5的形成空间。[0074]另外，切口8的顶端不一定要到达第一电极3侧的浮岛导体6A，也可以构成为电阻
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体5的一部分介于切口8和浮岛导体6A之间。另外，在上述第五实施例中，虽然构成为狭缝S2的顶端与印刷形成在电阻体5上的切口8连续，但是也可以与第一实施例和第二实施例同样地，构成为不形成切口而仅用微调槽7A、7B来规定电阻体5的曲折形状，并且将狭缝S2的顶端直接向正交方向延长来形成微调槽7B。
[0075]图9是本发明第六实施例的片式电阻器50的俯视图。如图9所示，在第六实施例的片式电阻器50中，构成为不仅以从第二电极4的凸部分离的方式形成浮岛导体6B，而且以从第一电极3的凸部分离的方式形成浮岛导体6A。即，在第一电极3形成有向第二电极4突出的未图示的凸部，通过以纵向切断该凸部的方式设置狭缝S1而得到浮岛导体6A，该狭缝S1的顶端与微调槽7B连续。
[0076]图10是本发明的第七实施例的片式电阻器60的俯视图，图11是示出第七实施例的片式电阻器60的制造工序的说明图，并且对与图1和图2对应的部分被赋予相同的附图标记。
[0077]在图10所示的第七实施例的片式电阻器60中，电阻体5通过印刷图案形成为N字状的曲折形状，在该电阻体5的一个回转部5b形成有从第一电极3分离的浮岛导体6A，并且在另一个回转部5b形成有从第二电极4分离的浮岛导体6B。另外，在电阻体5的两端侧的引线部5a分别形成有L字状的微调槽7A、7B，一个微调槽7A与分离第一电极3和浮岛导体6A的狭缝S1的顶端连续，另一个微调槽7B与分离第二电极4和浮岛导体6B的狭缝S2的顶端连续。[0078]对这样构成的片式电阻器60的制造工序进行说明，首先，如图11(a)所示，形成在集合基板2A的表面隔开规定间隔相向的第一电极3和第二电极4。此时，在第一电极3形成向第二电极4突出的凸部3a，在第二电极4形成向第一电极3突出的凸部4a。[0079]接着，如图11(b)所示，印刷形成两端部与第一电极3和第二电极4重叠的曲折形状的电阻体5。该电阻体5具有：与第一电极3和第二电极4的凸部3a、4a连接的2个回转部5b、将第一电极3和一个回转部5b以直线状连接的引线部5a、将第二电极4和另一个回转部5b以直线状连接的引线部5a以及将这2个引线部5a在斜向连接的合计3个引线部5a。[0080]接着，如图11(c)所示，从第二电极4的凸部4a的右侧部向左方照射激光，使该激光在通过凸部4a后直接延伸到图示左侧的引线部5a内(参照附图标记LT2)。由此，如图11(d)所示，在第二电极4形成直线状的狭缝S2，并且在电阻体5B的引线部5a形成与狭缝S2连续的L字状的微调槽7B，通过该狭缝S2得到从第二电极4分离的浮岛导体6B。[0081]此外，在此前后，从第一电极3的凸部3a的左侧部向右方照射激光，使该激光在通过凸部3a后直接延伸到图示右侧的引线部5a内(参照附图标记LT1)。由此，如图11(e)所示，在第一电极3形成直线状的狭缝S1，并且在电阻体5B的引线部5a形成与狭缝S1连续的L字状的微调槽7A，通过该狭缝S1得到从第一电极3分离的浮岛导体6A，并且通过两微调槽7A、7B进行电阻值调节，以使电阻体5的电阻值成为目标电阻值。另外，此后的工序与第1实施例基本相同，因此在此省略重复的说明。[0082]如以上说明的那样，在第七实施例的片式电阻器60中，构成为通过电阻体5的印刷图案和形成在第一电极3和第二电极4的两狭缝S1、S2来规定曲折形状，在与微调槽7A、7B的顶端部相向的回转部5b分别形成有浮岛导体6A、6B，因此，能够减轻施加在回转部5b的负载，即使在微调槽7A、7B的顶端部产生微裂缝，也能够减轻由微裂缝引起的对特性的不良影响。
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另外，在第七实施例中，微调槽7A、7B以引线部5a的宽度方向内侧为起点形成为L
字状，因此，能够高精度地调节电阻体5的电阻值，同时，由于狭缝S1、S2和微调槽7A、7B相连续，因此，微调槽7A、7B的起始点(起点)稳定，能够容易地进行电阻值调节。[0084]附图标记说明[0085]1、10、20、30、40、50、60：片式电阻器[0086]2：绝缘基板[0087]2A：集合基板[0088]3：第一电极[0089]3a：凸部[0090]4：第二电极[0091]4a：凸部[0092]5：电阻体[0093]5a：引线部[0094]5b：回转部[0095]6A、6B：浮岛导体[0096]7A、7B：微调槽[0097]8：切口[0098]S1、S2：狭缝
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