白光干涉仪结果怎么看
2024-09-02
来源：好走旅游网
小编以W1系列白光干涉仪为例讲解其主要参数以及背后的含义。
物镜倍率
W1白光干涉仪有以下倍率可选
10×，（2.5×，5×， 20×，50×，100×）
物镜倍率越大，扫描视场越小，标配视场为0.98×0.98㎜，最大扫描视场为6×6mm。
2.5×，5×物镜适合比较光滑平坦的表面，10×及以上物镜适合粗糙有一定倾角的表面。
2.Z向扫描范围
W1白光干涉仪Z向扫描范围为10mm,扫描范围指出现干 涉条纹时镜头下表面 到样品表面的距离.
3.可测样品反射率：0.05%~100%
从透射率 非常高的透明玻璃 （光学透镜等）到 表面反射率极低的 黑色哑光（漫反射） 表面（或类似 A4 纸）均能正常重建 3D 图像测量。
4.仪器精度：0.3%
首先要理解精度 是个很宽泛的概念，用标准台 阶来衡量，仪器的精度就是 0.3%内；而用可测的绝对数值 来衡量，样品表面粗糙度为 0.1nm 时亦可测出，和原子力显 微镜能力相当，比同为光学仪 器的激光共聚焦检测能力高至 少一个量级，也远高于一般的 接触式轮廓粗糙度仪。
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