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离子镀膜过程中离子与气态成膜原子的作用

2024-09-29 来源:好走旅游网
离子镀膜过程中离子作用为激发,气态成膜原子的作用提供成膜物质。
1、离子激发:在离子镀膜过程中,通过加速器将离子加速到高速度,离子与靶材表面碰撞并释放出能量,从而激发了表面原子的能级,使其处于高能级状态,便于与气态成膜原子相互作用。
2、气态成膜原子提供成膜物质:气态成膜原子是构成镀膜材料的主要物质,通过与离子相互作用,沉积在靶材表面并形成薄膜。
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