电镜能谱(EDS),扫描电镜与透射电镜能谱对比-科学指南针
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发布时间：2024-10-24 13:27
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时间：2024-10-29 15:49
电镜能谱(EDS)与扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)的能谱分析有所差异。虽然早期EDS有多种缩写，如EDS、EDX和EDAX，但现今共识是EDS代表能谱或能谱仪，而EDX则用于指能谱学。在分辨率方面，尽管许多人误认为TEM的能谱分辨率更高，但实际上，同一厂家的SEM能谱分辨率通常优于TEM，特别是在定量分析时，SEM的样品制备更为简便且厚度影响较小。
李香庭教授的研究指出，SEM的EDS分析有明确的定量标准，如最低含量为0.x%，并规定了不同元素的相对误差范围。TEM的样品通常为薄片，这有助于减少干扰，但由于厚度难以准确测量，定量分析难度较大，且国家级TEM标样罕见，因此TEM的EDS分析更倾向于半定量或定性。轻元素的分析尤其如此，需选取干扰小的区域多点分析以减小误差。
EDS谱峰的数量并不反映元素含量的高低，而是由电子壳层跃迁产生的特征X射线决定。如果谱峰中缺乏某些低能量峰，可能是因为轻元素被吸收或干扰，需要通过比较不同区域或调整样品位置来判断。此外，谱峰中出现非样品元素可能源于样品污染、基底信号或仪器噪声，需根据具体情况进行分析和排除。
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